Alicat 질량유량계(MFC)·압력 컨트롤러 전체 제품

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11개 제품

MCMFC

MC 시리즈 질량유량계(MFC)

Alicat MC

유량0.5 SCCM ~ 12,000 SLPM

가스98종 내장 보정

제어응답최속 30 ms

턴다운10,000 : 1

표준 가스 유량 제어 — 튜브퍼니스·CVD 분위기

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MCSMFC

MCS 부식성 가스 MFC

Alicat MCS

유량0.5 SCCM ~ 12,000 SLPM

가스부식성 포함 128종

정확도±0.4% rdg / ±0.2% FS

제어범위1 ~ 100% FS

부식성 가스 라인 — 접액부 축소 사양

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MCQMFC

MCQ 고압 MFC

Alicat MCQ

유량10 SCCM ~ 12,000 SLPM

압력11.5 ~ 320 PSIA

정확도중유량 ±0.6% rdg / 대유량 ±2% FS

제어범위0.5 ~ 100% FS (200:1)

고압 공급 라인 유량 제어

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MCDMFC

MCD 양방향 제어 MFC

Alicat MCD

유량0.5 SCCM ~ 3,000 SLPM

밸브2밸브 구성

성능MC와 동일

특징주입·배기 동시 제어

밀폐공간 주입·배기 동시 제어

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MCTMFC

MCT 2가스 전환 MFC

Alicat MCT

유량0.5 SCCM ~ 3,000 SLPM

가스98종 내장 보정

전환2개 가스 소스

성능MC와 동일

한 대로 두 가스 라인 전환

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BIOCMFC

BIOC 바이오리액터용 MFC

Alicat BIOC

유량1 sccm ~ 500 slpm

규격ASME BPE 준수

엘라스토머USP Class VI

운전범위10,000 : 1

바이오리액터·발효조 가스 공급

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MCEMFC

MCE 진공·반도체 공정 MFC

Alicat MCE

유량0.5 SCCM ~ 30 SLPM

규격SEMI 풋프린트 (SFF)

교체드롭인 호환

공정CVD·ALD·PVD

진공 증착 드롭인 교체 — MCV·SFF·MCES·MCVS

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PC압력

PC 시리즈 압력 컨트롤러

Alicat PC

제어절대·게이지 압력

용도챔버 압력 유지

통신RS-485 · 아날로그

사양문의

챔버·라인 압력 정밀 제어

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PCD압력

PCD 양방향 압력 컨트롤러

Alicat PCD

제어충전·배기 양방향

용도폐쇄 챔버 압력

통신RS-485 · 아날로그

사양문의

밀폐 챔버 압력 상·하 제어

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BPR압력

배압 조절기(BPR)

Alicat BPR

기능상류 압력 유지

용도튜브로 출구 배압

연동MFC와 조합

사양문의

튜브퍼니스 출구 배압 유지

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BASISMFC

BASIS 2 소형 MFC

Alicat BASIS 2

유량100 SCCM ~ 100 SLPM

센서MEMS 열식

가스9종 전환

크기116 g부터

OEM 장비 내장 — 적산기 내장 소형 MFC

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Alicat이 강한 이유

• 초고속 응답 — 설정 유량에 도달하는 시간이 수십 ms 수준. 유량을 빠르게 바꿔야 하는 스위칭·펄스 실험에서 유리합니다.
• 넓은 측정 범위(turndown) — 하나의 기기가 저유량부터 풀스케일까지 넓은 구간을 정밀하게 커버해, 여러 유량계를 두지 않아도 됩니다.
• 다기체 보정 — 여러 가스의 물성을 내장해 사용 가스를 선택만 하면 그 가스 기준으로 정확히 측정·제어합니다.
• 압력 변동에 강함 — 상류·하류 압력이 흔들려도 질량 유량을 일정하게 유지하도록 제어합니다.
• 다양한 통신 — RS-485(Modbus 등) 디지털과 아날로그(0–5V/4–20mA)를 지원해 기록·다채널 제어와 시스템 연동이 쉽습니다.
• 컬러 디스플레이·현장 재보정 — 유량·압력·온도를 한눈에 보고, 현장에서 기준 대비 재보정을 할 수 있습니다.

어디에 쓰나

• 튜브퍼니스 가스 분위기 제어 — N₂·Ar·H₂·공기 등의 유량과 혼합비를 재현성 있게 유지.
• CVD·박막 공정 — 전구체·캐리어 가스 유량을 정밀 제어해 증착 조건을 일정하게.
• 촉매·반응 실험 — 반응 가스 유량·비율을 정확히 잡아 활성·선택도 조건을 통제.
• 가스 혼합·희석 — 여러 가스를 정해진 비율로 섞어 목표 조성을 만듦.

선택할 때 확인할 것

실험셋업연구소의 Alicat 셋업 지원

실험셋업연구소는 Alicat 질량유량계를 정품으로 공급하고, 여러 MFC를 묶어 유량 설정·기록·혼합비까지 동기 제어하는 시스템 연동을 지원합니다. 튜브퍼니스나 CVD 라인처럼 여러 가스를 다뤄야 하는 셋업에서 가스 종류·유량 범위·통신 방식에 맞는 구성을 함께 정리하고, 온도 스케줄에 가스 유량을 연동하는 무인·재현 셋업까지 구성합니다. A/S는 Alicat 국내 총판을 통해 진행되며 접수·진행 상황은 실험셋업연구소가 함께 챙깁니다.

• 1500℃ 튜브퍼니스 가스 분위기 제어 — Alicat MFC 도입 사례 — 가스 분위기와 혼합비를 MFC와 제어 소프트웨어로 구성한 기록
• 다채널 가스 통합 컨트롤러 — 혼합비 자동 분배·온도 스케줄 연동·펌프 연동
• 통합 제어 소프트웨어 — Windows용 무료 다운로드

Python 예제 — Python으로 Alicat 질량유량계(MFC) 가스 유량을 제어하려면?

Alicat은 시리얼 ASCII 또는 Modbus RTU로 setpoint를 보냅니다. 시리얼 ASCII는 <유닛ID>S<값> 형식으로 목표 유량을 주고, 한 줄 상태 프레임(압력·온도·유량 등)을 되받는 방식입니다. 아래는 개념 예시이며 명령 문법·단위·주소는 Alicat 매뉴얼을 따르세요.

import serial
# 통신 속도·유닛 ID·명령 문법은 Alicat 매뉴얼 참조
mfc = serial.Serial('COM4', 19200, timeout=1)

# 시리얼 ASCII: '<UnitID> S <setpoint>' 로 가스 유량 setpoint 전송 (개념 예시)
mfc.write(b'A S 2.5\r')            # 유닛 A, 유량 setpoint 2.5 (예: SLPM)
print(mfc.readline().decode())    # 현재 압력·온도·유량 등 상태 프레임 수신

# Modbus RTU를 지원하는 모델이면 pymodbus/minimalmodbus로
# setpoint 레지스터에 write 하는 방식도 동일하게 통합 제어 가능

참고

• MC 시리즈 상세 사양 — 유량 구간별(LOW·MID·HIGH) 정확도·응답, 열선식 대비 차압식 비교
• MCS 부식성 가스 · MCQ 고압(320 PSIA) · MCD 양방향 · MCT 2가스 전환 · BIOC 바이오리액터
• 진공·SEMI (MCV·SFF·MCES·MCVS) — SFF가 기존 MCE를 대체합니다 · BASIS 2 소형 MFC
• 압력: PC 압력 컨트롤러 · PCD 듀얼밸브 · 배압 제어(BPR)
• MFC 가상 시뮬레이터 — SCCM 설정·가스 변경 따라하기 · Alicat MFC 메뉴얼
• 정품·국내 A/S 안내 · 셋업 문의

준비 중 표시 모델은 상세 페이지를 작성하고 있습니다. 해당 모델도 견적·사양 안내는 바로 가능합니다.