퍼니스 셋업 사례 — 튜브퍼니스·전기로, 이렇게 제어했습니다

삼흥에너지 튜브퍼니스·전기로의 가스 분위기와 온도 스케줄을 Alicat 질량유량계(MFC)·제어 소프트웨어로 자동화한 실제 도입 셋업을 모았습니다. 가스 종류·유량·온도를 하나의 시퀀스로 묶어 무인·재현으로 운전합니다.