Alicat MCV·SFF는 진공·SEMI 공정용 질량유량계(MFC)입니다. 0.5 SCCM~20 SLPM, 외부 누설 1×10⁻⁹ atm-cc/s, 1/4″ VCR 연결입니다.
CVD·ALD·PVD 같은 대기압 이하 증착 공정에 맞춰 미리 구성된 MFC 계열입니다. 네 가지로 나뉩니다. MCV는 Swagelok® 공압 차단밸브를 내장해 진공 무결성을 유지하고, SFF는 SEMI 표준 124 mm 풋프린트로 기존 SEMI MFC를 그대로 교체할 수 있으며 MCE 시리즈를 대체합니다. MCES는 SEMI 풋프린트에 부식성 대응을, MCVS는 차단밸브에 부식성 대응을 더한 사양입니다. 모두 층류 차압(laminar DP) 방식이며 연결부는 1/4″ VCR이 기본입니다.
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MCV의 공압 차단밸브는 60 PSIG 이상의 구동 공기압이 필요합니다. SFF는 SEMI 표준 124 mm 길이를 맞춰 기존 SEMI MFC 자리에 그대로 들어갑니다.
네 시리즈는 차단밸브 유무와 부식성 대응 여부로 갈립니다. 제어 범위와 정확도가 시리즈마다 다르므로 아래에서 확인하세요.
| 항목 | MCV | SFF | MCES | MCVS |
|---|---|---|---|---|
| 구분 | 공압 차단밸브 내장 | SEMI 풋프린트 (MCE 대체) | SEMI 풋프린트 + 부식성 | 차단밸브 + 부식성 |
| 풀스케일 유량 | 0.5 SCCM – 20 SLPM | |||
| 유량 정확도 (표준) | ± 0.6% rdg 또는 ± 0.1% FS 중 큰 값 | ± (0.4% rdg + 0.2% FS) | ± 0.4% rdg 및 ± 0.2% FS | |
| 유량 정확도 (고정밀) | ± 0.5% rdg 또는 ± 0.1% FS 중 큰 값 | — | ||
| 반복성 (2σ) | ± (0.1% rdg + 0.02% FS) | ± 0.2% FS | ||
| 제어 범위 | 0.01 – 100% FS (10,000 : 1) | 1 – 100% FS | ||
| 제어 응답 | 최속 30 ms (유량 의존, 사용자 조정) | |||
| 가스 보정 | Gas Select™ 98종 | 128종 이상 (부식성 포함) | ||
| 차단밸브 | Swagelok® 공압 구동, 정상시 닫힘 누설 < 1×10⁻⁹ atm-cc/s (구동 공기압 60 PSIG 이상 필요) | — | 공압 차단밸브 누설 < 1×10⁻⁹ atm-cc/s | |
| 작동 압력 | 11.5 – 160 PSIAMCV는 175 PSIA, SFF는 200 PSIA 초과 시 손상 가능. 75 PSI 초과 차압 변화에서도 손상 가능합니다 | |||
| 누설 무결성 (외부) | < 1×10⁻⁹ atm-cc/s 헬륨 | |||
| 닫힌 밸브 누설 | 차단밸브로 완전 차단 | < 1×10⁻⁵ atm-cc/s 헬륨 (setpoint 0에서) | 차단밸브로 완전 차단 | |
| 기본 연결부 | 1/4″ VCR® 수나사 (컴프레션·VCO 선택 가능) | |||
| 풀스케일 압력강하 (공기를 대기로 방출 기준) | 10 – 500 SCCM 1.0 / 1 SLPM 1.5 / 2 SLPM 3.0 / 5 SLPM 2.0 / 10 SLPM 5.5 / 20 SLPM 20.0 PSID | |||
| 외형 (H×W×D) | 120.8 × 170.7 × 38.1 mm | 120.8 × 124.0 × 38.1 mm (SEMI 표준 124 mm) | 문의 | |
| 무게 | ≈ 1.4 kg | ≈ 1.0 kg | 문의 | |
| 장착 방향 / 보호등급 | 방향 무관 · IP40 (IP66·IP67 옵션) | |||
| 사용 온도 / 압력 정확도 | −10 ~ 60℃ · 1 atm 초과 ± 0.5% rdg, 1 atm 미만 ± 0.07 PSIA · 온도 정확도 ± 0.75℃ | |||
| 전원 / 갱신율 | 12 – 24 Vdc, 250 mA (4–20 mA 출력 시 290 mA) · 디지털 40 Hz(19200 baud) · 아날로그 1 kHz · 디스플레이 10 Hz | |||
| 통신 | RS-232 Serial + Modbus RTU(기본) · RS-485 · Modbus TCP/IP · DeviceNet · EtherCAT · EtherNet/IP · PROFIBUS · PROFINET · IO-Link · 아날로그 4–20 mA, 0–5 · 1–5 · 0–10 Vdc | |||
출처: Alicat 기술자료 DOC-SPECS-MCV-MID (REV 0, 2020-07) · DOC-SPECS-SFF-MID (REV 1, 2025-01) 및 Alicat 진공 MFC 제품 자료. MCES·MCVS 수치는 제품 자료 기준이며 상세는 문의 시 확인해 드립니다.
| 항목 | MC (표준) | MCV·SFF (진공·SEMI) |
|---|---|---|
| 유량 범위 | 0.5 SCCM – 12,000 SLPM | 0.5 SCCM – 20 SLPM |
| 기본 연결부 | NPT · M5 등 | 1/4″ VCR® 수나사 |
| 누설 무결성 | 별도 규정 없음 | 외부 < 1×10⁻⁹ atm-cc/s 헬륨 |
| 차단밸브 | 없음 | MCV·MCVS는 공압 차단밸브 내장 |
| 풋프린트 | Alicat 표준 | SFF·MCES는 SEMI 표준 124 mm 드롭인 |
| 대표 공정 | 튜브퍼니스·일반 가스 라인 | CVD · ALD · PVD · 코팅 |
열선식 MFC와 차압식의 원리 비교는 MC 시리즈 페이지에 정리돼 있습니다.
시리즈 선정MCV·SFF·MCES·MCVS 중 어떤 것을 골라야 하나요?
두 가지 기준으로 나뉩니다. ① 진공 무결성을 위한 차단밸브가 필요하면 MCV(또는 부식성이면 MCVS), ② 기존 SEMI MFC 자리를 그대로 교체해야 하면 SFF(부식성이면 MCES)입니다. SFF는 SEMI 표준 124 mm 길이를 맞춰 배관 재작업 없이 들어갑니다. 부식성 가스를 쓰면 가스 보정도 98종에서 128종 이상으로 늘어납니다.
MCE 대체기존에 쓰던 MCE는 어떻게 되나요?
Alicat은 SFF 시리즈가 MCE 시리즈를 대체한다고 안내합니다. SEMI 풋프린트와 1/4″ VCR 연결이 동일하고, 가공 피팅으로 실링면을 줄여 누설 경로가 적습니다. 부식성 가스를 쓰던 MCE 자리라면 MCES가 대응 모델입니다. 기존 모델명과 유량 레인지를 알려주시면 대체 사양을 정리해 드립니다.
누설진공 공정에서 누설은 어느 정도인가요?
외부 누설은 전 모델 1×10⁻⁹ atm-cc/s 헬륨 미만으로 시험됩니다. 밸브를 닫았을 때의 누설은 구조에 따라 다릅니다. SFF는 setpoint 0에서 1×10⁻⁵ atm-cc/s 헬륨 미만이고, MCV·MCVS는 별도의 공압 차단밸브가 완전히 막아 줍니다. 챔버를 장시간 비워 두는 공정이라면 차단밸브가 있는 MCV 계열이 안전합니다.
차단밸브MCV의 공압 밸브는 무엇이 필요한가요?
Swagelok® 공압 구동 밸브로 60 PSIG 이상의 구동 공기(또는 질소)가 필요합니다. 정상시 닫힘이라 구동압이 없으면 닫힌 상태를 유지합니다. 설치 시 프로세스 가스 라인과 별개로 구동용 공압 라인을 하나 더 배관해야 하므로 레이아웃에 미리 반영하세요.
제어 범위MCVS만 제어 범위가 다른 이유는?
MCV·SFF·MCES는 풀스케일의 0.01~100%(10,000:1)인데 MCVS는 1~100%입니다. 부식성 대응 접액부와 차단밸브가 함께 들어가면서 저유량 제어 범위가 제한됩니다. 풀스케일 1 SLPM 모델 기준으로 MCVS의 제어 하한은 10 sccm입니다. 저유량이 중요하면 MCES(SEMI 풋프린트 + 부식성)를 검토하세요.
구매·A/S국내에서 구매·A/S는 어떻게 되나요?
실험셋업연구소가 Alicat 질량유량계를 정품으로 안내하고, 다중 MFC 동기 제어 시스템 연동까지 지원합니다. A/S는 Alicat 국내 총판을 통해 진행되며, 접수·진행 상황은 실험셋업연구소가 함께 챙깁니다. 유량 범위·가스 종류·공급압·통신 방식만 알려주시면 모델을 좁혀 견적을 드립니다.
최소 정보만으로 빠르게 문의합니다. 세부 사양은 상담 중 확정합니다.
MFC 견적에 필요한 핵심 조건을 모두 결정해 정확한 견적을 받습니다.