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Alicat MCT 시리즈 2가스 전환 질량유량계(MFC)
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Alicat MCT 시리즈 2가스 전환 질량유량계 Switchable Inlet MFC

Alicat MCT 시리즈는 입구 2개로 두 가스 소스를 전환하는 질량유량계(MFC)입니다. 0.5 SCCM~3,000 SLPM, 가스 98종을 내장합니다.

Alicat MCT 시리즈는 표준 MC에 입구를 하나 더 둔 구성입니다. 서로 다른 두 가스 라인을 한 대에 연결해 두고, 기기 내부에서 사용할 소스를 전환합니다. 퍼지용 불활성 가스와 반응 가스를 번갈아 흘리거나, 캐리어 가스를 바꿔가며 실험할 때 외부 3-way 밸브와 배관을 줄일 수 있습니다. Gas Select™ 98종이 내장돼 전환 후에도 해당 가스 기준으로 바로 측정·제어됩니다. 전용 데이터시트는 없고 베이스 시리즈 사양을 그대로 따르며, 밸브·입구 추가로 치수만 달라집니다.

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Alicat MFC 다채널 구성 설치 사례

기본 구성 (Standard)

  1. MCT 본체 — 유량 레인지 지정 (0.5 SCCM ~ 3,000 SLPM)
  2. 입구 2개 — 두 가스 소스를 한 대에 연결 후 전환
  3. Gas Select™ 98종(MCTS는 128종) + COMPOSER™ 혼합가스 20종
  4. 디스플레이 — 흑백 LCD(기본) 또는 컬러 TFT
  5. 통신 — RS-232 Serial + Modbus RTU 기본 / RS-485·Modbus TCP/IP·DeviceNet·EtherCAT·EtherNet/IP·PROFIBUS·PROFINET·IO-Link 선택
  6. 파생 사양 — MCTS(부식성) / MCT4 / MCPT / MCRT(대유량) / MCST

MCT의 성능 사양은 베이스 시리즈 데이터시트를 그대로 적용합니다. 입구와 밸브가 추가되는 만큼 외형 치수가 베이스보다 커지므로, 랙 설치 시 실제 도면을 요청해 주세요.

사양 (베이스 시리즈 기준)

Alicat은 MCT 전용 데이터시트를 별도로 내지 않고, 베이스 시리즈(MC·MCS·MCW·MCQ)의 사양을 그대로 적용한다고 안내합니다. 성능은 동일하고 입구·밸브 추가로 치수만 달라집니다.

항목MCT 계열
유량 범위0.5 SCCM – 3,000 SLPM
작동 압력11.5 – 160 PSIA
유량 정확도베이스 시리즈 사양 적용 — 최상 ± 0.5% rdg 또는 ± 0.1% FS 중 큰 값
입구 구성가스 입구 2개 — 기기 내부에서 소스 전환두 소스의 공급압이 크게 다르면 전환 직후 유량이 흔들릴 수 있습니다. 레귤레이터로 압력을 맞춰 두는 것이 좋습니다
가스 보정Gas Select™ 98종(MCTS는 128종) 내장 — 소스를 바꾼 뒤 해당 가스를 선택하면 재보정 없이 적용
COMPOSER™ 사용자 정의 혼합 20종(혼합당 최대 5가스, 조성 해상도 0.01%)
사양 기준MC · MCS · MCW · MCQ 데이터시트를 그대로 적용. 성능 동일, 치수만 변경
대표 모델MCT-10SCCM · MCT-100SCCM · MCT-500SCCM
MCT-1SLPM · MCT-5SLPM · MCT-20SLPM · MCT-100SLPM · MCT-500SLPM
MCTS(부식성) · MCT4 · MCPT · MCRT-250SLPM · MCST 계열
디지털 통신RS-232 Serial + Modbus RTU(기본) · RS-485 + Modbus RTU · Modbus TCP/IP · DeviceNet · EtherCAT · EtherNet/IP · PROFIBUS · PROFINET · IO-Link
아날로그 입출력4 – 20 mA · 0 – 5 Vdc · 1 – 5 Vdc · 0 – 10 Vdc
사용 온도 / 보호등급−10 ~ 60℃ · IP40(기본, IP66·IP67 옵션)

출처: Alicat MC 시리즈 제품 자료 및 베이스 시리즈 기술자료(DOC-SPECS-MC / MCS / MCQ). MCT 전용 데이터시트는 발행되지 않습니다.

MC 표준형과의 차이

항목MC (표준)MCT (2가스 전환)
가스 입구1개2개
가스 소스 전환외부 3-way 밸브와 배관 필요기기 내부에서 전환
유량 범위0.5 SCCM – 12,000 SLPM0.5 SCCM – 3,000 SLPM
외형기준입구·밸브 추가분만큼 커짐
성능 사양데이터시트 기준베이스 시리즈와 동일

열선식 MFC와 차압식의 원리 비교는 MC 시리즈 페이지에 정리돼 있습니다.

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이 제품 FAQ

용도두 가스를 전환하는 게 왜 필요한가요?

실험에서는 같은 유로로 다른 가스를 번갈아 흘리는 경우가 많습니다. 승온 중에는 불활성 가스로 퍼지하고 유지 구간에서 반응 가스로 바꾸거나, 캐리어 가스를 교체해 비교 실험을 하는 식입니다. 보통은 외부에 3-way 밸브와 배관을 따로 구성하는데, MCT는 입구 2개를 기기가 직접 전환하므로 배관과 데드볼륨이 줄고 전환 시점도 제어 소프트웨어에서 함께 기록됩니다.

가스 보정전환한 뒤 정확도는 어떻게 되나요?

Gas Select™에 98종(MCTS는 128종) 물성이 내장돼 있어, 소스를 바꾼 뒤 해당 가스를 선택하면 재보정 없이 그 가스 기준으로 질량유량이 계산됩니다. 열선식처럼 K-factor로 환산하지 않으므로 가스 종류에 따른 추가 오차가 붙지 않습니다.

주의전환할 때 주의할 점은?

두 소스의 공급압을 맞춰 두는 것이 중요합니다. 한쪽이 크게 높으면 전환 직후 유량이 흔들리고 안정화에 시간이 걸립니다. 각 라인에 레귤레이터를 두고 압력을 비슷하게 설정하세요. 또 전환 직후에는 이전 가스가 유로에 남아 있으므로, 정밀한 실험이라면 퍼지 시간을 시퀀스에 넣는 편이 좋습니다.

MCD와 차이MCD와 무엇이 다른가요?

목적이 다릅니다. MCT는 입구가 2개어떤 가스를 흘릴지 고르는 기기이고, MCD는 밸브가 2개어느 방향으로 흘릴지(주입·배기)를 제어하는 기기입니다. 가스 종류를 바꿔야 하면 MCT, 밀폐 용기에 넣고 빼야 하면 MCD입니다.

구매·A/S국내에서 구매·A/S는 어떻게 되나요?

실험셋업연구소가 Alicat 질량유량계를 정품으로 안내하고, 다중 MFC 동기 제어 시스템 연동까지 지원합니다. A/S는 Alicat 국내 총판을 통해 진행되며, 접수·진행 상황은 실험셋업연구소가 함께 챙깁니다. 유량 범위·가스 종류·공급압·통신 방식만 알려주시면 모델을 좁혀 견적을 드립니다.