Alicat MCQ 시리즈 고압 질량유량계 High Pressure MFC

Name: Alicat MCQ 시리즈 고압 질량유량계(MFC)
Brand: Alicat Scientific
Availability: InStock

Alicat MCQ 시리즈는 최대 320 PSIA 고압 라인용 질량유량계(MFC)입니다. 10 SCCM~12,000 SLPM, 제어 범위는 풀스케일의 0.5~100%입니다.

Alicat MCQ 시리즈는 표준 MC와 같은 층류 차압(laminar DP) 방식이면서 작동압력을 11.5~320 PSIA로 확장한 MFC입니다. 표준 MC의 상한이 160 PSIA이므로, 레귤레이터로 감압하지 않고 고압 라인에서 바로 제어해야 할 때 선택합니다. 제어 범위는 풀스케일의 0.5~100%(200:1), 제어응답은 최속 100 ms입니다. 정확도가 유량 구간에 따라 크게 갈리는 점이 중요합니다. 10 SCCM~20 SLPM은 ± 0.6% rdg 또는 ± 0.1% FS인 반면, 50~12,000 SLPM은 ± 2% FS입니다. 아래 사양표에서 해당 구간을 반드시 확인하세요.

실시간 문의

#MCQ #고압MFC #320PSIA #Alicat #MC시리즈

← MC 시리즈 (표준)

기본 구성 (Standard)

MCQ 본체 — 유량 레인지 지정 (10 SCCM ~ 12,000 SLPM)
작동압력 11.5 ~ 320 PSIA (400 PSIA 초과 시 손상 가능)
Gas Select™ 98종 + COMPOSER™ 혼합가스 20종
디스플레이 — 흑백 LCD(기본) 또는 컬러 TFT
통신 — RS-232 Serial + Modbus RTU 기본 / RS-485·Modbus TCP/IP·DeviceNet·EtherCAT·EtherNet/IP·PROFIBUS 선택
전원 — MCQ 12~24 Vdc 250 mA / 대유량 MCRQ·MCRHQ는 24 Vdc, 1~2.1 A

밸브는 정상시 닫힘(Normally Closed)입니다. 고압 라인은 배관 체결·안전밸브 구성이 함께 검토돼야 하므로, 공급압과 후단 조건을 알려주시면 함께 정리해 드립니다.

모델별 사양 (유량 구간별)

MCQ는 유량 구간에 따라 정확도가 크게 다릅니다. 중유량 구간은 읽음값 기준(± 0.6% rdg)이지만 대유량 구간은 풀스케일 기준(± 2% FS)입니다.

유량 구간	10 SCCM – 20 SLPM	50 – 12,000 SLPM
밸브 형식	MCQ	MCRQ (50~3,000 · 10,000~12,000 SLPM) / MCRHQ (5,000 SLPM, Dual Rolamite)
유량 정확도	± 0.6% rdg 또는 ± 0.1% FS 중 큰 값	± 2% FS대유량 구간은 읽음값이 아닌 풀스케일 기준입니다. 5,000 SLPM 모델이면 유량과 무관하게 ± 100 SLPM 수준의 불확도가 적용됩니다
반복성 (2σ)	± 0.1% FS	± (0.1% rdg + 0.02% FS)
제어 범위 (턴다운)	0.5 – 100% FS	0.5 – 100% FS (200 : 1)
제어 응답 (T63)	최속 100 ms (유량 의존, 사용자 조정)
작동 압력	11.5 – 320 PSIA (400 PSIA 초과 시 손상 가능 · 75 PSID 초과 차압에서 손상 가능)
풀스케일 압력강하 (공기를 대기로 방출 기준)	10 SCCM 2.8 / 50 SCCM 1.0 100 – 500 SCCM 1.0 / 1 SLPM 1.5 2 SLPM 3.0 / 5 SLPM 2.0 10 SLPM 5.5 / 20 SLPM 20.0 PSID	50 SLPM 2.0 / 100 SLPM 3.2 / 250 SLPM 2.4 500 SLPM 6.5 / 1,000 SLPM 14.0 / 2,000 SLPM 8.6 3,000 SLPM 16.8 / 5,000 SLPM 14.1 10,000 SLPM 57.0 / 12,000 SLPM 72.0 PSID
기본 연결부	10 – 50 SCCM: M5 암나사 (10-32 호환) 100 SCCM – 20 SLPM: 1/8″ NPT 암	50 – 100 SLPM 1/4″ · 250 SLPM 1/2″ 500 – 2,000 SLPM 3/4″ · 3,000 SLPM 1¼″ 5,000 SLPM 1½″ · 10,000 SLPM 이상 2″ NPT 암
외형 (W×D×H)	84.8 × 26.7 × 99.0 mm (10 – 50 SCCM) 91.1 × 26.7 × 103.3 mm (100 SCCM – 20 SLPM)	194.3 × 57.2 × 139.6 mm ~ 304.8 × 97.5 × 202.3 mm
무게	≈ 0.5 kg	4.1 ~ 14.5 kg
전원	12 – 24 Vdc, 250 mA (4–20 mA 출력 시 +40 mA)	MCRQ ≤ 3,000 SLPM 24 Vdc 1 A MCRHQ 24 Vdc 2 A MCRQ > 5,000 SLPM 24 Vdc 2.1 A
장착 방향	방향 무관	밸브를 반드시 직립으로
접액부	302·303·304·316L·430FR 스테인리스, FKM, 알루미나 세라믹, 황동, 유리, 금, 에폭시, 실리콘 고무, 폴리아미드, 실리콘	302·303·304·316L·410 스테인리스, FKM, 알루미나 세라믹, Delrin®, 나일론 등
압력 정확도	1 atm 초과 ± 0.5% rdg / 1 atm 미만 ± 0.07 PSIA
온도 정확도 / 사용 온도	± 0.75℃ / −10 ~ 60℃ (주위·가스 공통)
센서·표시 응답 / 웜업	센서 < 1 ms · 표시 < 10 ms · 웜업 < 1 s
밸브 / 보호등급 / 습도	정상시 닫힘(Normally Closed) · IP40(기본) · 상대습도 0 – 95% 비응축
가스 보정	Gas Select™ 98종 내장(NIST REFPROP 10 물성 기준) · COMPOSER™ 사용자 정의 혼합 20종(혼합당 최대 5가스, 조성 해상도 0.01%)
디지털 통신	RS-232 Serial + Modbus RTU(기본) · RS-485 + Modbus RTU · Modbus TCP/IP · DeviceNet · EtherCAT · EtherNet/IP · PROFIBUS (대유량 사양은 PROFINET·IO-Link 포함)
아날로그 / 갱신율	4 – 20 mA · 0 – 5 · 1 – 5 · 0 – 10 Vdc (추가 오차 ± 0.1% FS) / 디지털 40 Hz(19200 baud) · 아날로그 1 kHz · 디스플레이 10 Hz

출처: Alicat 기술자료 DOC-SPECS-MCQ-MID (REV 0, 2020-09) · DOC-SPECS-MCQ-HIGH (REV 3, 2026-03). 두 문서의 개정 시점이 달라 표기 방식에 차이가 있습니다. 표준 사양이며 옵션은 문의 시 확인해 드립니다.

MC 표준형과의 차이

항목	MC (표준)	MCQ (고압)
작동 압력	11.5 – 160 PSIA	11.5 – 320 PSIA
손상 한계	200 PSIA 초과	400 PSIA 초과
제어 범위	0.01 – 100% FS (10,000 : 1)	0.5 – 100% FS (200 : 1)
제어 응답	최속 30 ms (10 SCCM~20 SLPM · MCP)	최속 100 ms (전 구간)
유량 정확도	구간별 ± 0.6 ~ 0.8% rdg	중유량 ± 0.6% rdg / 대유량 ± 2% FS
유량 하한	0.5 SCCM 모델부터	10 SCCM 모델부터

열선식 MFC와 차압식의 원리 비교는 MC 시리즈 페이지에 정리돼 있습니다.

문의·상담070-8983-2600유량·가스·압력 조건만 알려주시면 모델을 좁혀 드립니다

채팅문의채널톡으로 바로 상담

이 제품 FAQ

선정 기준언제 MC 대신 MCQ를 써야 하나요?

기준은 라인 압력입니다. 표준 MC의 작동 상한은 160 PSIA(약 11 bar abs)이므로, 그보다 높은 압력에서 감압 없이 제어해야 하면 MCQ입니다. 반대로 레귤레이터로 충분히 감압할 수 있다면 표준 MC가 유리합니다. MCQ는 제어 범위가 0.5~100% FS(200:1)이고 응답도 최속 100 ms로, MC의 10,000:1·30 ms보다 제한적이기 때문입니다.

정확도같은 MCQ인데 왜 정확도가 두 가지인가요?

기술자료가 유량 구간별로 나뉘고 기준 자체가 다릅니다. 10 SCCM~20 SLPM은 ± 0.6% 읽음값 또는 ± 0.1% 풀스케일 중 큰 값이지만, 50~12,000 SLPM은 ± 2% 풀스케일입니다. 풀스케일 기준은 유량이 작아질수록 상대 오차가 커집니다. 예를 들어 5,000 SLPM 모델로 500 SLPM을 흘리면 ± 100 SLPM, 즉 ± 20%가 됩니다. 대유량에서 정밀도가 필요하면 풀스케일을 실제 사용 유량대에 맞춰 좁히세요.

압력 한계320 PSIA를 넘기면 어떻게 되나요?

400 PSIA를 초과하면 손상될 수 있습니다. 320 PSIA는 정상 작동 상한이고 400 PSIA는 손상 한계입니다. 또 공통 압력과 별개로 75 PSI를 넘는 급격한 차압 변화에서도 손상될 수 있으므로, 밸브를 급하게 여닫는 구성이라면 완충 구간을 두는 것이 좋습니다.

설치대유량 모델 설치 시 주의할 점은?

50 SLPM 이상 MCRQ·MCRHQ는 밸브를 반드시 직립으로 장착해야 합니다. 전원은 24 Vdc 1~2.1 A가 필요하고, 무게는 5,000 SLPM 12.7 kg, 10,000 SLPM 이상 14.5 kg입니다. 특히 10,000 SLPM은 풀스케일 압력강하가 57 PSID, 12,000 SLPM은 72 PSID라 공급압 확보가 중요합니다.

구매·A/S국내에서 구매·A/S는 어떻게 되나요?

실험셋업연구소가 Alicat 질량유량계를 정품으로 안내하고, 다중 MFC 동기 제어 시스템 연동까지 지원합니다. A/S는 Alicat 국내 총판을 통해 진행되며, 접수·진행 상황은 실험셋업연구소가 함께 챙깁니다. 유량 범위·가스 종류·공급압·통신 방식만 알려주시면 모델을 좁혀 견적을 드립니다.