Alicat MCS 시리즈 부식성 가스 질량유량계 Corrosion Resistant MFC

Name: Alicat MCS 시리즈 부식성 가스 질량유량계(MFC)
Brand: Alicat Scientific
Availability: InStock

Alicat MCS 시리즈는 부식성 가스용 질량유량계(MFC)입니다. 0.5 SCCM~12,000 SLPM, 가스 128종 내장, 제어 범위는 풀스케일의 1~100%입니다.

Alicat MCS 시리즈는 표준 MC와 같은 층류 차압(laminar DP) 방식을 쓰면서 접액부를 316L·303·430FR 스테인리스와 FFKM으로 구성해 부식성 가스에 대응하는 MFC입니다. Gas Select™에 부식성·냉매를 포함한 128종이 내장돼 있고, COMPOSER™로 혼합 가스 20종을 정의할 수 있습니다. 표준 MC와 결정적으로 다른 점은 제어 범위가 풀스케일의 1~100%(100:1)라는 것으로, MC의 10,000:1과 달리 저유량 구간이 제한됩니다. 정확도·응답·압력강하는 유량 구간마다 다르므로 아래 사양표에서 확인하세요.

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기본 구성 (Standard)

MCS 본체 — 유량 레인지 지정 (0.5 SCCM ~ 12,000 SLPM)
접액부 — 316L / 303 / 430FR 스테인리스, FFKM 표준 (가스에 따라 FKM 또는 EPDM)
Gas Select™ 128종 (부식성·냉매 포함) + COMPOSER™ 혼합가스 20종
디스플레이 — 흑백 LCD(기본) 또는 컬러 TFT, 유량·체적유량·온도·압력·setpoint 동시 표시
통신 — RS-232 Serial + Modbus RTU 기본 / RS-485·Modbus TCP/IP·DeviceNet·EtherCAT·EtherNet/IP·PROFIBUS·PROFINET·IO-Link 선택
전원 — MCS 12~30 Vdc / 대유량 MCRS·MCRHS는 24~30 Vdc, 1~2.1 A

밸브는 정상시 닫힘(Normally Closed)입니다. 가스 종류·농도·수분 유무에 따라 엘라스토머(FFKM/FKM/EPDM)를 지정하므로, 문의 시 사용 가스를 함께 알려주세요.

모델별 사양 (유량 구간별)

MCS는 유량 구간에 따라 밸브 형식이 MCS / MCRS / MCRHS로 나뉘고, 응답·압력강하·전원·장착 조건이 달라집니다.

유량 구간	0.5 – 5 SCCM	10 SCCM – 20 SLPM	50 – 12,000 SLPM
밸브 형식	MCS	MCS	MCRS (50~3,000 · 10,000~12,000 SLPM) / MCRHS (5,000 SLPM)
유량 정확도 (표준)	± 0.8% rdg 및 ± 0.2% FS
유량 정확도 (고정밀)	± 0.4% rdg 및 ± 0.2% FS (5 SCCM 이상 ~ 500 SLPM 이하 모델)
반복성 (2σ)	± 0.2% FS
제어 범위 (턴다운)	1 – 100% FS (100 : 1)표준 MC의 10,000:1과 달리 저유량 구간이 제한됩니다. 풀스케일 1 SLPM 기준 제어 하한은 10 sccm입니다
제어 응답 (T63)	100 – 4,000 ms	30 – 4,000 ms	30 – 150 ms
표시 응답	100 – 4,000 ms	< 10 ms	65 – 255 ms
풀스케일 압력강하 (공기를 대기로 방출 기준)	0.5 SCCM 1.0 1 – 5 SCCM 2.0 PSID	10 SCCM 2.8 / 50 SCCM 1.0 100 – 500 SCCM 1.0 / 1 SLPM 1.5 2 SLPM 3.0 / 5 SLPM 2.0 10 SLPM 5.5 / 20 SLPM 20.0 PSID	50 · 100 SLPM 2.5 / 250 SLPM 2.4 500 SLPM 6.5 / 1,000 SLPM 14.0 2,000 SLPM 28.6 / 3,000 SLPM 16.8 5,000 SLPM 14.1 / 10,000 SLPM 30.0 11,000 SLPM 40.0 / 12,000 SLPM 72.0 PSID
기본 연결부	M5 암나사 (10-32 호환)	10 – 50 SCCM: M5 암나사 100 SCCM – 20 SLPM: 1/8″ NPT 암	50 – 100 SLPM 1/4″ · 250 SLPM 1/2″ 500 – 2,000 SLPM 3/4″ · 3,000 SLPM 1¼″ 5,000 SLPM 1½″ · 10,000 SLPM 이상 2″ NPT 암
외형 (W×D×H)	84.8 × 26.7 × 111.7 mm	91.1 × 26.7 × 116.0 mm	194.3 × 57.2 × 139.6 mm ~ 304.8 × 97.5 × 202.3 mm
무게	≈ 0.5 kg	≈ 0.5 kg	4.1 ~ 14.5 kg
전원	12 – 30 Vdc, 250 mA (4–20 mA 출력 시 +40 mA)		MCRS ≤ 3,000 SLPM 24 Vdc 1 A MCRHS 24 – 30 Vdc 2 A MCRS > 5,000 SLPM 24 – 30 Vdc 2.1 A
장착 방향	tare 후 방향 무관		MCRS·MCRHS는 밸브 실린더를 수직·직립으로
접액부	316L / 303 / 430FR 스테인리스, FFKM 표준 (가스에 따라 FKM 또는 EPDM)		MCRS·MCRHS는 410 스테인리스와 PTFE 추가
작동 압력	11.5 – 160 PSIA (200 PSIA 초과 시 손상 가능 · 75 PSID 초과 차압에서 손상 가능)
압력 정확도	± 0.5% FS
온도 정확도 / 사용 온도	± 0.75℃ / −10 ~ 60℃ (주위·가스 공통)
센서 응답 / 웜업	센서 < 1 ms · 웜업 < 1 s
밸브 / 보호등급 / 습도	정상시 닫힘(Normally Closed) · IP40(기본) · 상대습도 0 – 95% 비응축
가스 보정	Gas Select™ 128종 내장(NIST REFPROP 10 물성 기준) · COMPOSER™ 사용자 정의 혼합 20종(혼합당 최대 5가스, 조성 해상도 0.01%)
디지털 통신	RS-232 Serial + Modbus RTU(기본) · RS-485 + Modbus RTU · Modbus TCP/IP · DeviceNet · EtherCAT · EtherNet/IP · PROFIBUS · PROFINET · IO-Link
아날로그 / 갱신율	4 – 20 mA · 0 – 5 · 1 – 5 · 0 – 10 Vdc (추가 오차 ± 0.1% FS) / 디지털 40 Hz(19200 baud) · 아날로그 1 kHz · 디스플레이 10 Hz

출처: Alicat 기술자료 DOC-SPECS-MCS (REV 4, 2025-02). 표준 사양이며 옵션은 문의 시 확인해 드립니다.

MC 표준형과의 차이

항목	MC (표준)	MCS (부식성)
대상 가스	비부식성 98종	부식성·냉매 포함 128종
접액부	302·303·304·316L·430FR SS, FKM 등	316L·303·430FR SS, FFKM 표준 (가스별 FKM·EPDM)
제어 범위	0.01 – 100% FS (10,000 : 1)	1 – 100% FS (100 : 1)
유량 정확도(표준)	구간별 ± 0.6 ~ 0.8% rdg	전 구간 ± 0.8% rdg 및 ± 0.2% FS
반복성	± (0.1 ~ 0.2% rdg + 0.02% FS)	± 0.2% FS
압력 정확도	± 0.5% rdg (1 atm 초과)	± 0.5% FS

열선식 MFC와 차압식의 원리 비교는 MC 시리즈 페이지에 정리돼 있습니다.

문의·상담070-8983-2600유량·가스·압력 조건만 알려주시면 모델을 좁혀 드립니다

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이 제품 FAQ

가스 선정어떤 가스까지 대응되나요?

Gas Select™에 128종이 내장되며 여기에 부식성 가스와 냉매가 포함됩니다. 다만 가스 종류·농도·수분 함유 여부에 따라 엘라스토머를 FFKM·FKM·EPDM 중에서 지정해야 하므로, 문의 시 사용 가스와 농도를 함께 알려주시면 적합 여부와 밀봉재 사양을 확인해 드립니다.

MC와 차이표준 MC 대신 MCS를 써야 하는 기준은?

기준은 가스가 접액부를 침식하는가 입니다. HCl·NH₃·염소계·황화물·불소계처럼 스테인리스와 일반 엘라스토머를 공격하는 가스라면 MCS입니다. 다만 MCS는 제어 범위가 풀스케일의 1~100%(100:1)로 MC의 10,000:1보다 좁으므로, 저유량까지 정밀하게 잡아야 한다면 풀스케일을 실제 사용 유량대에 맞춰 좁게 잡아야 합니다.

저유량 제한제어 하한이 어떻게 되나요?

풀스케일의 1%가 하한입니다. 풀스케일 1 SLPM(=1,000 sccm) 모델이라면 10 sccm 아래로는 제어되지 않습니다. 예를 들어 상시 5 sccm을 흘려야 한다면 풀스케일 500 sccm 이하 모델을 선택해야 합니다. 표준 MC라면 같은 1 SLPM 모델로 0.1 sccm까지 제어되므로, 이 차이가 모델 선정의 핵심입니다.

대유량 설치대유량 모델 설치 시 주의할 점은?

50 SLPM 이상 MCRS·MCRHS는 Rolamite 밸브를 쓰기 때문에 밸브 실린더를 수직·직립으로 장착해야 합니다. 전원도 24 Vdc 1~2.1 A가 필요해 12 V 어댑터로는 동작하지 않습니다. 무게는 5,000 SLPM에서 12.7 kg, 10,000 SLPM 이상에서 14.5 kg이고 연결부가 1½~2″ NPT라 배관 지지와 정렬을 미리 설계해야 합니다.

구매·A/S국내에서 구매·A/S는 어떻게 되나요?

실험셋업연구소가 Alicat 질량유량계를 정품으로 안내하고, 다중 MFC 동기 제어 시스템 연동까지 지원합니다. A/S는 Alicat 국내 총판을 통해 진행되며, 접수·진행 상황은 실험셋업연구소가 함께 챙깁니다. 유량 범위·가스 종류·공급압·통신 방식만 알려주시면 모델을 좁혀 견적을 드립니다.