다채널 가스 통합 컨트롤러 Multi-Channel Gas Controller

Name: 실험셋업연구소 다채널 가스 통합 컨트롤러
Brand: Alicat Scientific
Availability: InStock

실험셋업연구소 통합 컨트롤러는 Alicat MFC 여러 대를 RS-485 Modbus로 묶어 혼합비·온도 스케줄을 자동 제어하는 전용 하드웨어입니다.

MFC는 유량을 만드는 장치이고, 그 유량을 언제 얼마나 흘릴지 정하는 것은 컨트롤러의 몫입니다. 실험셋업연구소 통합 컨트롤러는 Alicat MFC 여러 대를 RS-485 Modbus RTU로 데이지체인 연결해 세 가지를 자동화합니다. ① 혼합비(%)만 입력하면 채널별 유량을 자동 분배하고, ② 퍼니스 승온 프로파일과 가스 유량을 하나의 타임라인에 묶고, ③ 펌프까지 같은 시퀀스에 넣습니다. 전 채널의 유량·압력·온도는 CSV로 남아 같은 조건을 그대로 다시 돌릴 수 있습니다. 디스플레이가 없는 BASIS 2는 이 컨트롤러가 반드시 함께 있어야 운용됩니다. 제어 소프트웨어 자체는 무료로 제공하며, 통합 컨트롤러는 그 소프트웨어를 얹은 미니PC(Raspberry Pi 5) + 터치패널 하드웨어입니다. 별도 PC 없이 장비 옆에서 바로 운용합니다.

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기본 구성 (Standard)

미니PC(Raspberry Pi 5) + 터치패널 일체형 본체 — 별도 PC 없이 단독 운용
제어 소프트웨어 탑재 — 소프트웨어는 무료 제공, 컨트롤러는 이를 얹은 하드웨어 패키지
RS-485 Modbus RTU 데이지체인 — Alicat MFC 여러 대를 주소 지정으로 한 버스에 연결
혼합비 자동 분배 — 목표 조성(%)과 총유량을 입력하면 채널별 setpoint를 계산·전송
스케줄·레시피 — 시간대별 유량 변경, 퍼니스 온도 프로파일과 동기
전 채널 CSV 로깅 — 유량·압력·온도 이력 저장, 동일 조건 재실행
연동 장비 — Alicat MFC·압력 컨트롤러, 퍼니스 온도 컨트롤러, 정량·연동펌프

BASIS 2는 디스플레이·조작부가 없어 이 컨트롤러(또는 고객 PLC·PC) 없이는 유량을 설정할 수 없습니다. MC 계열은 전면 디스플레이로 단독 조작이 가능하지만, 다채널 혼합·스케줄·기록이 필요하면 컨트롤러를 함께 구성합니다.

제어 기능

컨트롤러가 담당하는 일은 세 가지입니다. 사람이 계산하고 지켜보던 부분을 기기가 대신합니다.

기능	수동 운용일 때	컨트롤러로 묶었을 때
다채널 혼합비	목표 조성을 사람이 계산해 채널마다 개별 입력. 총유량이 바뀌면 전부 다시 계산	혼합비(%)와 총유량만 입력하면 채널별 setpoint를 자동 분배. 총유량을 바꿔도 비율 유지
온도 스케줄 연동	승온·유지·냉각 구간마다 사람이 가스를 바꿔야 함. 야간 구간은 사실상 불가	퍼니스 승온 프로파일과 가스 유량을 하나의 타임라인에 배치. 예) 승온 Ar 100 sccm → 유지 H₂ 5% 혼합 → 냉각 시작과 함께 H₂ 차단
펌프 연동	액체 공급은 별도 기기에서 따로 운전	정량·연동펌프를 같은 시퀀스에 포함해 기체·액체를 함께 제어
기록·재현	화면 값을 사람이 받아 적거나 미기록. 배치 편차 원인 추적 불가	전 채널 유량·압력·온도를 CSV로 저장. 같은 프로파일을 그대로 재실행
무인 연속운전	사람이 붙어 있어야 조건 변경 가능	스케줄대로 자동 진행. 장시간·야간 운전 가능
BASIS 운용	불가 — 디스플레이·조작부가 없어 setpoint를 줄 방법이 없음	시리얼 명령으로 채널별 유량 지정·적산 제어

하드웨어 구성

구분	내용
본체	미니PC (Raspberry Pi 5) + 터치패널 일체형별도 노트북·데스크톱 없이 장비 옆에서 단독 운용합니다. 실험실 PC를 점유하지 않아 장시간 무인 운전에 유리합니다
조작	터치패널에서 채널별 유량·혼합비·스케줄을 직접 입력
제어 소프트웨어	실험셋업연구소 제작 · 소프트웨어는 무료 제공 컨트롤러는 이 소프트웨어를 얹은 하드웨어 패키지입니다 Windows용 버전은 통합 제어 소프트웨어 페이지에서 무료 다운로드
장비 연결	RS-485 Modbus RTU 데이지체인 (주소 지정) Alicat MFC·압력 컨트롤러, 퍼니스 온도 컨트롤러, 정량·연동펌프
채널 수	2 · 3 · 4 · 6 등 실험 구성에 맞춰 제작
기록	전 채널 유량·압력·온도 CSV 저장 · 동일 프로파일 재실행

연동 규격은 Alicat 기술자료(RS-232·RS-485 Modbus RTU 기본, 디지털 데이터 갱신 40 Hz @ 19200 baud) 기준입니다.

구성 조합 — 채널과 기기를 섞어서

구성	내용	이런 경우에
BASIS 3채널 + 컨트롤러	3가스 혼합기. 채널별 setpoint와 혼합비를 컨트롤러에서 지정	Ar / H₂ / N₂ 처럼 세 가스를 비율로 섞을 때
BASIS + MC 혼합 (예: BASIS 1 + MC 1)	주 가스는 BASIS로 대유량, 미량 첨가 가스는 MC로 1 sccm 단위	주 가스 유량은 크고 첨가 가스만 정밀해야 할 때
MC 다채널 + 컨트롤러	전 채널 차압식 정밀 제어 (턴다운 10,000 : 1)	모든 채널에서 1 cc 단위 정량이 필요할 때
MFC + 압력 컨트롤러	유량은 MFC, 출구 배압은 PC 시리즈가 담당	유량과 압력을 동시에 고정해야 할 때
MFC + 퍼니스	퍼니스 온도 컨트롤러를 같은 타임라인에 연결	소성·CVD처럼 온도와 분위기를 함께 스케줄링할 때
MFC + 펌프	정량·연동펌프를 같은 시퀀스에 포함	기체와 액체를 함께 공급하는 반응 실험

채널 수는 2·3·4·6 등 필요한 만큼 구성합니다. 사용 가스·목표 유량·혼합비와 함께 쓸 장비를 알려주시면 기기 조합과 채널 구성을 정리해 드립니다. 소프트웨어 단독 제어(펌프·진공·온도 포함)는 통합 제어 소프트웨어 페이지를 참고하세요.

문의·상담070-8983-2600유량·가스·압력 조건만 알려주시면 모델을 좁혀 드립니다

채팅문의채널톡으로 바로 상담

이 제품 FAQ

소프트웨어소프트웨어만 받아서 써도 되나요?

됩니다. 제어 소프트웨어 자체는 무료로 제공합니다. Windows용 버전은 통합 제어 소프트웨어 페이지에서 바로 내려받아 보유하신 PC에 설치하면 됩니다. 통합 컨트롤러는 그 소프트웨어를 미니PC(Raspberry Pi 5)와 터치패널에 얹어 완성한 하드웨어로, ① 실험실 PC를 점유하지 않고 ② 장비 옆에서 터치로 바로 조작하며 ③ 장시간 무인 운전 중 PC 절전·업데이트로 끊길 걱정이 없다는 점이 다릅니다. 소프트웨어로 먼저 써 보고 하드웨어를 추가하셔도 됩니다.

필요성MFC만 사면 되는 거 아닌가요?

MFC는 지정된 유량을 만드는 장치입니다. 어떤 값을 언제 줄지는 별개 문제입니다. 채널이 하나이고 유량을 고정해 쓴다면 MC 계열은 전면 디스플레이로 단독 운용이 됩니다. 하지만 여러 채널을 비율로 섞거나, 시간·온도에 따라 유량을 바꾸거나, 이력을 남겨야 한다면 컨트롤러가 필요합니다. 특히 BASIS 2는 디스플레이·조작부가 아예 없어 컨트롤러 없이는 유량을 설정할 수 없습니다.

혼합비혼합비 자동 분배는 어떻게 동작하나요?

목표 조성과 총유량만 입력하면 됩니다. 예를 들어 총 200 sccm에 H₂ 5%를 지정하면 컨트롤러가 H₂ 채널 10 sccm, Ar 채널 190 sccm으로 계산해 각 MFC에 전송합니다. 총유량을 500 sccm으로 올려도 비율은 그대로 유지한 채 25 sccm / 475 sccm으로 다시 분배합니다. 사람이 매번 계산해 채널마다 입력하던 과정이 사라집니다.

온도 연동퍼니스 온도 스케줄과 어떻게 묶나요?

퍼니스 온도 컨트롤러와 MFC를 같은 프로그램의 한 타임라인에 올립니다. 승온 구간에는 Ar 100 sccm으로 퍼지하고, 목표 온도 유지 구간에서 H₂ 5% 혼합으로 전환했다가, 냉각이 시작되면 H₂를 차단하고 Ar 단독으로 돌리는 식의 시퀀스를 미리 짜 둡니다. 온도와 유량 이력이 같은 시간축에 함께 기록되므로 배치 간 편차 원인을 추적할 수 있습니다. 실제 적용 기록은 1500℃ 튜브퍼니스 가스 분위기 자동 제어 사례에서 보실 수 있습니다.

연결MFC를 몇 대까지 연결할 수 있나요?

RS-485 Modbus RTU는 한 버스에 여러 기기를 데이지체인으로 연결하고 주소로 구분합니다. Alicat 기기의 디지털 데이터 갱신율은 19200 baud에서 40 Hz이므로, 채널이 늘어나면 채널당 갱신 주기가 나뉩니다. 실제 채널 수는 필요한 응답 속도와 배선 길이를 함께 보고 정하며, 보통 2~6채널 구성으로 제작합니다.

타사 장비Alicat 말고 다른 장비도 연결되나요?

Modbus RTU·RS-485를 지원하는 장비라면 연동을 검토할 수 있습니다. 현재 정량·연동펌프, 퍼니스 온도 컨트롤러, 진공 기기까지 함께 제어한 사례가 있습니다. 다만 장비마다 레지스터 주소와 바이트 오더가 달라 매뉴얼 확인과 개별 대응이 필요하므로, 보유 장비의 모델명을 알려주시면 연동 가능 여부를 확인해 드립니다.

구매어떻게 구성해서 구매하나요?

사용 가스 종류, 채널별 목표 유량, 혼합비, 함께 쓸 장비(퍼니스·펌프·압력 컨트롤러)를 알려주시면 MFC 모델·채널 수·컨트롤러 사양을 함께 정리해 견적을 드립니다. MFC는 Alicat 정품으로 안내하며 A/S는 Alicat 국내 총판을 통해 진행됩니다. 컨트롤러와 셋업 연동은 실험셋업연구소가 직접 담당합니다.