Alicat BASIS 2는 손바닥 크기 MEMS 열식 질량유량계(MFC)입니다. 100 SCCM~100 SLPM, 0~145 PSIG, 가스 9종을 전환합니다.
BASIS 2는 Alicat의 다른 제품군과 달리 MEMS 열식(thermal) 센서를 쓰는 소형 MFC입니다. 가장 작은 모델이 68.6 × 22.2 × 39.4 mm · 116 g이라 캐비닛·인클로저 안에 넣기 좋고, 수량 구매를 전제로 가격을 낮춘 OEM 장비 내장용 라인입니다. 금속 유로 바디에 비례 제어밸브를 내장했고, 적산기(totalizer)가 들어 있어 정량 토출·배치 계량을 기기 자체로 처리할 수 있습니다. 가스는 Air·N₂·O₂·CH₄·Ar·CO₂·N₂O·He·H₂ 9종에서 전환하며, 제어 범위는 풀스케일의 0.1~100%(1,000:1)입니다. 정확도는 가스 종류와 유량 구간에 따라 크게 달라지므로 아래 표를 반드시 확인하세요. BASIS 2는 디스플레이와 조작부가 없어 단독으로는 운용할 수 없습니다. 실험셋업연구소가 제공하는 제어 컨트롤러와 묶어 구성하며, BASIS 여러 대 또는 MC 시리즈와 섞어 가스 혼합기로 구성할 수 있습니다.
BASIS 2 본체 — 유량 레인지 지정 (100 SCCM ~ 100 SLPM), 금속 유로 바디
MEMS 열식 센서 + 비례 제어밸브 일체형 (정상시 닫힘)
가스 9종 전환 — Air · N₂ · O₂ · CH₄ · Ar · CO₂ · N₂O · He · H₂
적산기(totalizer) 내장 — 정량 토출·배치 계량
통신 — RS-232 또는 RS-485 (Alicat ASCII 명령셋 · Modbus RTU) / 아날로그 0~5 Vdc 또는 4~20 mA
커넥터 — 6핀 JST GH · 상태 LED(전원·시리얼·에러) · 디스플레이 없음
연결부 — 1/8″ NPT 암 또는 SAE 4 (100 SCCM~2 SLPM) / 3/8″ NPT 암 또는 SAE 6 (5~100 SLPM)
디스플레이·조작부가 없어 BASIS 단독으로는 유량을 설정할 수 없습니다. 실험셋업연구소의 제어 컨트롤러(또는 고객 PLC·PC)에 연결해 운용합니다. 밸브 오버라이드(Hold · Exhaust)를 명령으로 걸 수 있고, 여러 대를 묶은 가싱 모듈(매니폴드) 형태로도 주문할 수 있습니다.
사양 (BASIS 2)
BASIS 2는 정확도가 가스 종류에 따라 다릅니다. 특히 CO₂·N₂O는 유량 구간까지 나뉘고, He·H₂는 읽음값이 아닌 풀스케일 기준입니다.
항목
내용
센서 방식
MEMS 열식 (thermal)일반 열식이 캐필러리 튜브를 쓰는 것과 달리 MEMS 칩 센서를 사용합니다. 열용량이 작아 응답이 빠르고 크기를 줄일 수 있습니다
풀스케일 유량 (제어·측정 범위)
100 SCCM – 100 SLPM 중 선택 제어·측정 범위는 고른 풀스케일의 0.1 – 100% (1,000 : 1 턴다운)예) 풀스케일 1 SLPM(= 1,000 sccm) 모델을 고르면 실제 제어 가능 범위는 1 sccm ~ 1,000 sccm입니다. 풀스케일 500 sccm을 고르면 0.5 ~ 500 sccm, 10 SLPM을 고르면 10 sccm ~ 10 SLPM이 됩니다. 1 cc 단위 조정이 중요하면 MC 시리즈를 권합니다
유량 정확도 (교정 조건 기준)
Air · N₂ · O₂ · CH₄ — ± 1.5% rdg 또는 ± 0.2% FS 중 큰 값 Ar — ± 1.5% rdg 또는 ± 0.5% FS 중 큰 값 He · H₂ — ± 1.8% FS CO₂ · N₂O — 100 SCCM~2 SLPM: ± 1.5% rdg 또는 ± 0.5% FS 5~20 SLPM: ± 2.0% rdg 또는 ± 1.0% FS 50~100 SLPM: ± 3.0% rdg 또는 ± 2.0% FS
반복성 (2σ)
± 0.25% rdg 또는 ± 0.05% FS
제어 응답 (T63)
최속 100 ms (유량 의존, 사용자 조정)
표시 응답 / 웜업
< 6 ms / 1분 (최적 5분)
작동 압력
미터: 0 – 145 PSIG 컨트롤러: 밸브에 따라 — LV08 0 – 60 PSIG · LV05 0 – 100 PSIG · 그 외 0 – 145 PSIG (20 SLPM 기본 LV08, 5~10 SLPM 기본 LV05)175 PSIG 초과 시 손상 가능합니다. 커스텀 밸브로 압력 등급을 올릴 수 있습니다
출처: Alicat 기술자료 DOC-SPECS-BASIS (REV 18, 2025-04, BASIS 2 기준). 표준 사양이며 옵션은 문의 시 확인해 드립니다.
보급형 열식 MFC와 BASIS 2 비교 — 풀스케일 1 SLPM 기준
둘 다 열식(thermal)입니다. 국내에서 널리 쓰이는 보급형 MFC는 바이패스 캐필러리 튜브를 가열해 상·하류 온도차로 유량을 추정하고, BASIS 2는 같은 열식이되 MEMS 칩 센서를 씁니다. 센서 구조가 달라지면서 응답·턴다운·다기체 대응이 달라집니다. 차이를 체감하기 쉽도록 풀스케일 1 SLPM(= 1,000 sccm) 모델을 골랐다고 가정하고 실제 수치로 정리했습니다.
1 sccm하한까지 제어는 되지만 정확도는 별개입니다. 아래 유량별 오차 표를 함께 보세요
제어 응답 (T63)
초 단위 (질소 기준 시정수 약 1.7초 수준)
최속 100 ms (유량 의존, 사용자 조정)
정확도 표기
풀스케일 기준 — 통상 ± 1.5 ~ 2.0% F.S. → 유량과 무관하게 ± 15 ~ 20 sccm 고정
읽음값 기준 항이 함께 적용 Air · N₂ · O₂ · CH₄: ± 1.5% rdg 또는 ± 2 sccm(0.2% FS) 중 큰 값
가스 변경
1가스 보정 후 K-factor 환산. 가스가 바뀌면 정확도가 떨어져 사실상 가스별로 기기를 나눠야 함
9종 내장 전환 — Air · N₂ · O₂ · CH₄ · Ar · CO₂ · N₂O · He · H₂ 재보정·기기 교체 없이 선택만으로 적용
풀스케일 압력강하
제조사·모델별 상이
26 mbar (컨트롤러, 공기 대기 방출 기준) 미터 사양은 3 mbar
정량 토출·적산
외부 PLC·카운터나 상위 소프트웨어가 있어야 누적량 계산
적산기(totalizer) 내장 (추가 불확도 ± 0.6% rdg) 정해진 양만 토출하고 멈추는 배치 계량을 기기 자체로 처리
통신
아날로그 0 – 5 V · 4 – 20 mA 중심, 디지털은 옵션인 경우가 많음
RS-232 / RS-485 · Alicat ASCII 명령셋 + Modbus RTU 디지털 최대 176 Hz · 아날로그 400 Hz · 유량 스크립트 실행 가능
크기·무게
랙·패널 장착을 전제한 표준 하우징
68.6 × 22.2 × 39.4 mm · 116 g (100 SCCM ~ 2 SLPM 공통 치수)
연결부 / 유로 바디
제조사·모델별 상이
1/8″ NPT 암 또는 SAE 4 / 금속 바디 — 300계 · 430FR · 17-7 스테인리스, 경질 아노다이징 6061 알루미늄
밸브 제어 / 작동 압력
개도 제어 중심
비례 밸브 일체형 + Hold · Exhaust 오버라이드 / 0 – 145 PSIG
1 SLPM 모델로 실제 유량을 흘렸을 때 오차
정확도는 흘리는 유량에 따라 상대 오차가 달라집니다. 풀스케일 기준 표기는 유량이 줄어도 오차 폭이 그대로라, 저유량으로 갈수록 상대 오차가 급격히 커집니다. (BASIS는 Air·N₂·O₂·CH₄ 기준)
흘리는 유량
보급형 열식 (± 1.5 ~ 2.0% F.S. = ± 15 ~ 20 sccm)
Alicat BASIS 2
1,000 sccm (FS)
± 15 ~ 20 sccm (± 1.5 ~ 2.0%)
± 15 sccm (± 1.5%)
500 sccm
± 15 ~ 20 sccm (± 3.0 ~ 4.0%)
± 7.5 sccm (± 1.5%)
200 sccm
± 15 ~ 20 sccm (± 7.5 ~ 10%)
± 3 sccm (± 1.5%)
100 sccm
± 15 ~ 20 sccm (± 15 ~ 20%)
± 2 sccm (± 2.0%)
20 sccm
± 15 ~ 20 sccm (± 75 ~ 100%) 제어 하한 부근
± 2 sccm (± 10%)
1 sccm
제어 불가
제어는 되지만 ± 2 sccm 정량이 필요하면 풀스케일을 낮춰야 함
읽어야 할 것 두 가지. ① 읽음값(rdg) 기준 항이 있으면 유량이 줄어도 상대 오차가 일정하게 유지됩니다. 200 sccm에서 BASIS는 ± 1.5%를 유지하지만 풀스케일 표기는 ± 7.5~10%로 벌어집니다. ② 그래도 133 sccm 아래부터는 BASIS도 풀스케일 항(± 2 sccm)이 지배하므로, 상시 사용 유량이 100 sccm 이하라면 풀스케일 500 sccm 이하 모델을 고르는 편이 낫습니다. 어느 방식이든 레인지를 실제 사용 유량대에 맞춰 좁히는 것이 가장 효과가 큽니다. 1 cc(1 sccm) 단위로 유량을 조정하는 것이 중요한 실험이라면 BASIS가 아니라 MC 시리즈를 권합니다. MC는 차압식으로 턴다운이 10,000:1이고 읽음값 기준 정확도가 ± 0.5~0.6%라, 같은 1 SLPM 모델에서 제어 하한이 0.1 sccm까지 내려갑니다.
보급형 열식이 유리한 경우도 있습니다. 단일 가스를 풀스케일 근처의 고정 유량으로만 쓰고 초기 비용이 우선이라면 보급형으로 충분합니다. BASIS 2는 가스를 바꿔 쓰거나, 저유량까지 제어해야 하거나, 기기 안에서 적산·시퀀스를 돌려야 하거나, 장비에 내장할 만큼 작아야 할 때 차이가 납니다.
비교 기준 — BASIS 2 수치는 Alicat 기술자료 DOC-SPECS-BASIS(REV 18, 2025-04)의 풀스케일 1 SLPM 모델 기준으로 계산했습니다. 왼쪽 열은 특정 제조사가 아니라 보급형 열식 제품군의 일반적인 수준으로, 풀스케일 기준 정밀도 ± 1.5 ~ 2.0% F.S.와 턴다운 50:1~100:1을 가정했습니다. 제조사·모델에 따라 다를 수 있으니 실제 검토 시에는 해당 제품 데이터시트를 확인하세요.
BASIS 2는 디스플레이·조작부가 없어 단독으로는 유량을 설정할 수 없습니다. 실험셋업연구소가 제공하는 제어 컨트롤러에 연결해 채널별 유량을 지정하고 기록합니다. 채널 수와 기기 조합은 실험 조건에 맞춰 정하며, BASIS만 여러 대로 묶거나 BASIS와 MC를 섞어 가스 혼합기로 구성할 수 있습니다.
구성
내용
이런 경우에
BASIS 1채널 + 컨트롤러
단일 가스 정량 공급. 가장 작고 단순한 구성
캐리어 가스 1종을 일정 유량으로 흘릴 때
BASIS 3채널 + 컨트롤러
3가스 혼합기. 채널별 setpoint와 혼합비를 컨트롤러에서 지정
Ar / H₂ / N₂ 처럼 세 가스를 비율로 섞을 때
BASIS + MC 혼합 (예: BASIS 1 + MC 1)
주 가스는 BASIS로 대유량 공급, 미량 첨가 가스는 MC로 1 sccm 단위 제어
주 가스 유량은 크고 첨가 가스만 정밀해야 할 때
MC 다채널 + 컨트롤러
전 채널을 차압식으로 정밀 제어 (턴다운 10,000 : 1)
모든 채널에서 1 cc 단위 정량이 필요할 때
채널 수 확장
2 · 3 · 4 · 6 채널 등 필요한 만큼 구성. BASIS는 매니폴드(가싱 모듈) 형태로도 주문 가능
가스 종류가 늘어나거나 라인을 추가할 때
컨트롤러는 채널별 유량 지정 · 혼합비 자동 분배 · 시간·온도 스케줄 연동 · 전 채널 CSV 로깅을 담당합니다. 사용 가스와 목표 유량·혼합비를 알려주시면 채널 구성과 기기 조합을 함께 정리해 드립니다.
이 제품 FAQ
구성BASIS만 구매해서 바로 쓸 수 있나요?
아닙니다. BASIS 2는 디스플레이와 조작부가 없어 단독으로는 유량을 설정할 수 없습니다. 시리얼(RS-232 / RS-485) 명령이나 아날로그 신호로만 setpoint를 받기 때문에, 실험셋업연구소가 제공하는 제어 컨트롤러(또는 고객이 보유한 PLC·PC)에 연결해 운용합니다. 컨트롤러는 채널별 유량 지정, 혼합비 자동 분배, 시간·온도 스케줄 연동, 전 채널 CSV 로깅을 담당합니다.
조합여러 대를 묶어 가스 혼합기로 만들 수 있나요?
가능합니다. BASIS 3대 + 컨트롤러로 3가스 혼합기를 구성하거나, BASIS 1대 + MC 1대처럼 성격이 다른 기기를 섞을 수도 있습니다. 주 가스는 BASIS로 대유량을 흘리고 미량 첨가 가스만 MC로 1 sccm 단위 제어하는 식입니다. 채널 수는 2·3·4·6 등 필요한 만큼 정하며, BASIS는 매니폴드(가싱 모듈) 형태로도 주문할 수 있습니다. 사용 가스와 목표 유량·혼합비를 알려주시면 조합을 함께 정리해 드립니다.
정밀도1 cc(1 sccm) 단위로 유량을 조정해야 하는데요?
그 경우에는 BASIS가 아니라 MC 시리즈를 권합니다. BASIS는 풀스케일 1 SLPM 모델 기준으로 제어 하한이 1 sccm이지만, 그 부근에서는 풀스케일 항(± 2 sccm)이 지배해 정량으로 쓰기 어렵습니다. MC는 차압식으로 턴다운이 10,000 : 1이고 읽음값 기준 정확도가 ± 0.5~0.6%라, 같은 1 SLPM 모델에서 0.1 sccm까지 제어됩니다. 주 가스는 BASIS, 미량 첨가 가스는 MC로 섞어서 구성하는 방법도 있습니다.
선정 기준보급형 열식 MFC 대신 BASIS를 쓸 이유가 있나요?
BASIS 2도 같은 열식이지만 센서가 MEMS 칩이라 네 가지가 갈립니다. ① 가스 전환 — 일반 열식은 K-factor 환산에 의존해 사실상 가스마다 기기를 나눠야 하지만 BASIS는 9종을 선택만으로 전환합니다. ② 저유량 — 턴다운이 1,000:1이라 통상 50:1~100:1인 열식보다 낮은 유량까지 제어됩니다. ③ 적산·시퀀스 — 적산기가 내장돼 정량 토출을 외부 PLC 없이 처리하고, ASCII 명령으로 유량 스크립트를 돌릴 수 있습니다. ④ 크기 — 가장 작은 모델이 116 g이라 장비 안에 넣기 좋습니다. 반대로 단일 가스를 풀스케일 근처의 고정 유량으로만 쓰고 초기 비용이 우선이라면 보급형 열식으로도 충분합니다.
정확도정확도가 왜 가스마다 다른가요?
열식 센서는 가스의 비열과 열전도도에 따라 응답이 달라집니다. Air·N₂·O₂·CH₄는 ± 1.5% 읽음값 또는 ± 0.2% 풀스케일, Ar은 풀스케일 항이 ± 0.5%로 커지고, He·H₂는 읽음값이 아닌 ± 1.8% 풀스케일입니다. CO₂·N₂O는 유량이 커질수록 나빠져 50~100 SLPM에서는 ± 3.0% 읽음값 또는 ± 2.0% 풀스케일입니다. 사용 가스와 유량대를 먼저 확정하고 표에서 해당 값을 확인하세요.
압력공급압은 어디까지 되나요?
미터는 0~145 PSIG지만 컨트롤러는 밸브에 따라 다릅니다. LV08 밸브는 0~60 PSIG, LV05는 0~100 PSIG, 그 외는 0~145 PSIG입니다. 20 SLPM 모델은 LV08, 5~10 SLPM은 LV05가 기본이므로 고압으로 쓰려면 커스텀 밸브 사이징이 필요합니다. 175 PSIG를 넘으면 손상될 수 있습니다.
적산기적산기로 무엇을 할 수 있나요?
흘린 총량을 기기가 직접 누적합니다. 정해진 양만 토출하고 멈추는 정량 토출·배치 계량을 상위 제어기 없이 처리할 수 있어 OEM 장비에서 배선과 코드가 줄어듭니다. 적산 값에는 ± 0.6% 읽음값의 추가 불확도가 붙습니다.
설치설치할 때 주의할 점은?
수평 자세에서 보정되므로 가능하면 수평으로 장착하세요. 디스플레이가 없어 현장 확인은 상태 LED와 시리얼 명령으로 합니다. 커넥터는 6핀 JST GH라 일반 D-sub 케이블과 다르므로 하네스를 미리 준비해야 합니다. 여러 대를 쓸 때는 가싱 모듈(매니폴드) 형태로 묶어 주문하면 배관이 단순해집니다.
구매·A/S국내에서 구매·A/S는 어떻게 되나요?
실험셋업연구소가 Alicat 질량유량계를 정품으로 안내하고, 다중 MFC 동기 제어 시스템 연동까지 지원합니다. A/S는 Alicat 국내 총판을 통해 진행되며, 접수·진행 상황은 실험셋업연구소가 함께 챙깁니다. 유량 범위·가스 종류·공급압·통신 방식만 알려주시면 모델을 좁혀 견적을 드립니다.
