열산화

Thermal Oxidation

공정

금속·반도체를 산소 분위기에서 가열해 표면에 산화물 층을 성장시키는 공정. 구리 열산화로 CuO 나노와이어를 키우는 식의 나노구조 합성에도 쓰인다.

개요

온도·시간·산소 분압·표면 상태가 산화층 두께와 형상을 결정한다. 공기 중 머플로로도 가능하지만, 분압 제어가 필요하면 튜브퍼니스+MFC 구성을 쓴다.