어닐링

Annealing (소둔)

공정

재료를 일정 온도로 가열한 뒤 서서히 식혀 내부 응력을 풀고 결정성을 회복시키는 열처리. 금속의 연화, 박막의 결정화·결함 회복에 쓰인다.

개요

급랭이 아니라 서냉이 핵심이다. 분위기(대기·불활성·환원)에 따라 표면 산화 여부가 갈리므로 튜브퍼니스+가스 퍼지 구성이 흔하다.