질량유량계 (MFC)
Mass Flow Controller
장비
가스의 질량 유량을 측정하고 설정값으로 자동 유지하는 장치. 분위기 소성·CVD에서 재현성 있는 가스 공급의 표준이다.
개요
압력이 흔들려도 설정 유량(sccm)을 유지하고, 통신(RS-232/485·Modbus)으로 설정·로깅할 수 있다. 다기체 보정 모델은 한 대로 여러 가스를 다룬다.
압력이 흔들려도 설정 유량(sccm)을 유지하고, 통신(RS-232/485·Modbus)으로 설정·로깅할 수 있다. 다기체 보정 모델은 한 대로 여러 가스를 다룬다.