sccm
Standard Cubic Centimeter per Minute
단위
표준 상태 환산 cm³/min 가스 유량 단위. 온도·압력이 달라도 같은 분자 수를 뜻해 MFC 유량 표기의 표준이다.
개요
부피 유량(L/min)과 달리 조건 무관하게 질량 기준으로 정의된다. 1000 sccm=1 slm. 논문 method의 가스 조건은 대부분 sccm으로 적는다.
부피 유량(L/min)과 달리 조건 무관하게 질량 기준으로 정의된다. 1000 sccm=1 slm. 논문 method의 가스 조건은 대부분 sccm으로 적는다.