튜브퍼니스
Tube Furnace (관상로)
장비
석영·알루미나 튜브 안에 시료를 넣고 밖에서 가열하는 전기로. 튜브 양단을 실링해 가스 분위기·저진공을 만들 수 있어 분위기 열처리의 표준 장비다.
개요
1050~1800℃급, 1~3존, 수평·수직형이 있다. 석영튜브는 ~1100℃, 알루미나튜브는 ~1600℃까지가 실용 범위다.
실무 포인트
발열체 수명을 위해 상시 사용 온도는 최고 온도보다 200℃ 이상 낮게 잡는다. 온도 균일구간은 튜브 길이의 약 1/3이므로 시료는 중앙에 둔다.