
삼흥에너지 진공 튜브로 턴키 패키지는 튜브 전기로에 칠러·진공펌프를 일체형 프레임으로 묶어 배관 없이 바로 운전하는 진공·무산소 분위기 관상로 세트입니다. 1200~1800℃ · 국내 직접 A/S.
삼흥에너지 진공 튜브로 턴키 패키지는 튜브 전기로에 칠러와 진공펌프를 프레임 일체로 구성한 제품입니다. 진공·무산소 분위기 실험에서 따로 사야 하는 주변장치를 한 번에 묶어, 배치와 배관 없이 바로 운전할 수 있습니다. 도어·튜브 실링 가스켓에 냉각수 라인이 들어가 고온에서 가스켓이 경화·누설되는 문제를 막습니다. 온도대는 1200 / 1500 / 1800℃, 구성은 300mm·600mm 단일존과 200mm × 3존이 있습니다.
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사진 번호 — ①튜브 전기로 본체 ②컨트롤러 콘솔 ③칠러 ④진공펌프·일체형 프레임. 도어·튜브 실링부 냉각수 라인 기본 포함. (마커 위치는 대략적입니다.)
위 항목은 패키지에 포함되지 않습니다. 필요한 구성을 알려주시면 퍼니스와 함께 셋업해 공급합니다 — 온도·가스 유량·진공을 하나로 묶는 통합 제어까지 지원합니다.




| Model | FU-PK-G1 | FU-PK-G2 | FU-PK-G3 | FU-PK-G4 |
|---|---|---|---|---|
| Furnace Model | SH-FU-50(S,L)TG-WG | SH-FU-80(S,L)TG-WG | SH-FU-100(S,L)TG-WG | SH-FU-120(S,L)TG-WG |
| Max Temp | 1200℃ | |||
| Chiller | SH-WB-5CDR(-15) | |||
| Vacuum Pump | SH-V10 | |||
| Dimension (300mm Hot Zone) | 1265×725×1420mm | 1265×725×1440mm | 1265×800×1495mm | 1265×800×1570mm |
| Dimension (600mm Hot Zone) | 1465×725×1420mm | 1465×725×1440mm | 1465×800×1495mm | 1465×800×1570mm |
⚠ 실사용 온도는 스펙 최고온도보다 150℃ 낮게 잡으세요 (중요)
퍼니스는 스펙상 최고온도를 상시 사용 온도로 잡지 마세요. 실사용 최대치는 정격 최고온도보다 150℃ 낮게 설정하는 것을 권장합니다. 스펙 온도를 그대로 상시 사용하면 목표 온도에는 도달하더라도 열선(발열체)과 내화재(단열재)가 빠르게 소모·손상됩니다 — 열선·내화재는 소모품입니다. 예: 1200℃ 스펙 → 상시 사용은 1050℃ 이하 권장.
구성에 따라 사양·총액이 크게 달라집니다. 옵션과 별도 구성 항목은 필요한 것만 골라 넣을 수 있어, 같은 모델이라도 최종 사양이 달라집니다. 실험셋업연구소 매거진 — 구매·국내 A/S는 이머전트(Emergent co). 조건만 남겨주시면 맞는 구성과 견적으로 회신드립니다.
기본 원리진공 튜브로 턴키 패키지는 무엇을 묶은 건가요?
튜브 전기로 본체에 칠러(SH-WB-5CDR)와 진공펌프(SH-V10)를 일체형 프레임에 통합한 패키지입니다. 진공·무산소 분위기 실험에 필요한 주변장치를 한 번에 묶어 별도 배치·배관 없이 바로 운전할 수 있고, 도어·튜브 실링부에 냉각수 라인이 들어갑니다. 온도대는 1200/1500/1800℃, 단일존(300·600mm)과 200mm×3존 구성이 있습니다.
모델어떤 패키지 모델들이 있나요?
1200℃ — FU-PK-G1~G4(단일존), FU-PK-G1-3~G4-3(200mm×3존). 1500℃ — FU-PK-H1~H4. 1800℃ — FU-PK-S1~S4(S1·S2는 칠러 -15, S3·S4는 -30). 뒤 숫자는 튜브경 50·80·100·120Φ 순서입니다.
칠러칠러는 왜 필요한가요?
도어와 튜브의 실링 가스켓은 고온에 노출되면 경화되어 진공·불활성 가스가 새기 시작합니다. 칠러로 20℃ 냉각수를 순환시켜 실링부 온도를 낮추면 가스켓 수명과 진공도가 유지됩니다. 진공·무산소 분위기 실험에서는 사실상 필수 구성입니다.
구성퍼니스만 따로 사서 칠러·펌프를 나중에 붙여도 되나요?
가능합니다. 다만 프레임·배관·냉각 라인을 별도로 맞춰야 해서 결과적으로 손이 더 갑니다. 이미 갖고 계신 펌프나 칠러가 있으면 그 사양을 알려주세요 — 연결 가능한지 확인하고 필요한 부분만 구성해 드립니다.
진공도진공도는 어느 정도까지 나오나요?
튜브 사양·가스켓 상태·펌프 조합에 따라 달라집니다. 목표 진공도와 사용 가스를 알려주시면 그 조건에 맞는 펌프·실링 구성으로 제안드립니다.
적용 분야어떤 실험에 쓰나요?
CVD·박막 성장, 무산소·환원 분위기 소결·열처리, 촉매·탄소소재·배터리 소재 합성 등 진공 배기 후 가스 분위기를 제어해야 하는 공정에 사용합니다. 3존 모델은 시료 길이 방향으로 온도 구배를 제어할 수 있어 연속·구배 공정에 유리합니다.
가스 제어MFC·BPR을 더하면 무엇이 좋아지나요?
MFC(질량유량계, Alicat)로 가스 유량을 정밀 투입하고 BPR로 튜브 내부 압력을 유지합니다. 이미 진공펌프·칠러가 통합돼 있어, 여기에 MFC·BPR·디지털 진공메타를 더하면 진공→가스 치환→승온·유량을 하나로 묶는 통합 제어가 완성됩니다.
온도실제로 몇 도까지 상시로 쓸 수 있나요?
선택한 온도대(1200/1500/1800℃)의 발열체 등급에 따라 다르며, 각 등급에서 스펙보다 약 150℃ 낮게 상시 사용을 권장합니다(예: 1200℃ → 1050℃ 이하). 목표 온도를 알려주시면 맞는 온도대·튜브를 제안드립니다.