삼흥에너지 High Vacuum Pump Turbo & Oil (고진공 펌프) SH-HVT

도달진공'도달압력'은 무슨 뜻인가요?

펌프가 만들 수 있는 최저 압력(최고 진공)입니다. 진공건조는 10⁻¹~10⁻³ torr급, 증착 등 고진공 공정은 10⁻⁶ torr 이상이 필요해 용도에 맞는 등급을 골라야 합니다.

선택배기속도는 어떻게 고르나요?

챔버 용적과 목표 도달시간이 기준입니다. 용적이 크거나 빨리 빼야 하면 L/min이 큰 모델을 고르세요. 챔버 용적을 알려주시면 계산해 추천드립니다.

구성백킹 펌프가 왜 필요한가요?

디퓨전·터보 펌프는 대기압에서 바로 동작하지 못합니다. 오일 로타리(백킹) 펌프가 1차 진공을 만든 뒤 고진공 펌프가 이어받는 2단 구성이며, 본 제품은 일체형 시스템입니다.

차이디퓨전과 터보의 차이는?

디퓨전(HV)은 10⁻⁶ torr급·경제적, 터보(HVT)는 10⁻⁷ torr급·오일 역류가 적어 더 청정합니다. 증착·표면분석 등 요구 진공도에 따라 선택합니다.

운전운전 시 주의할 점은?

디퓨전 펌프는 냉각과 예열 순서를 지켜야 오일 손상이 없습니다. 급배기(벤트) 순서 등 운전 절차는 설치 시 교육해 드립니다.