삼흥에너지 · SH Scientific
삼흥에너지 High Vacuum Pump Diffusion & Oil (고진공 펌프) SH-HV
삼흥에너지 고진공 펌프(SH-HV)는 디퓨전+오일로타리 조합으로 2.0×10⁻⁶ torr까지 도달하는 증착·고진공 공정용 시스템입니다.
배기속도 312L/min(HV40)·960L/min(HV100), 진공포트 KF25~ISO100, 145~215kg 스탠드형.
삼흥에너지 고진공 펌프(SH-HV)는 디퓨전+오일로타리 조합으로 2.0×10⁻⁶ torr까지 도달하는 증착·고진공 공정용 시스템입니다.
배기속도 312L/min(HV40)·960L/min(HV100), 진공포트 KF25~ISO100, 145~215kg 스탠드형.
| 사양 | SH-HV40 | SH-HV100 |
|---|---|---|
| 도달압력 | 2.6×10⁻⁴ Pa (2.0×10⁻⁶ torr) | |
| 배기속도(50/60Hz) | 312 L/min | 960 L/min |
| 진공/배기 포트 | KF25·40·50 / KF25 | ISO100(4″) / KF40 |
| 소음 | ≤58 dB | ≤62 dB |
| 디퓨전 오일 | 0.34 L | 0.5 L |
| 로타리 오일 | 0.9~1.5 L | 3.3~4.5 L |
| 전원·정격 | 220V 1상 · 1.75kW | 220V 3상 · 3.8kW |
| 외형 W×D×H | 600×760×1160mm | 810×960×1310mm |
| 중량 | 145 kg | 215 kg |
삼흥에너지 고진공 펌프 실제 제품 영상입니다.
정가: HV40 19,418,000 · HV100 25,000,000원 (VAT 별도).
고진공 펌프 구성
시스템 상세
도달진공'도달압력'은 무슨 뜻인가요?
펌프가 만들 수 있는 최저 압력(최고 진공)입니다. 진공건조는 10⁻¹~10⁻³ torr급, 증착 등 고진공 공정은 10⁻⁶ torr 이상이 필요해 용도에 맞는 등급을 골라야 합니다.
선택배기속도는 어떻게 고르나요?
챔버 용적과 목표 도달시간이 기준입니다. 용적이 크거나 빨리 빼야 하면 L/min이 큰 모델을 고르세요. 챔버 용적을 알려주시면 계산해 추천드립니다.
구성백킹 펌프가 왜 필요한가요?
디퓨전·터보 펌프는 대기압에서 바로 동작하지 못합니다. 오일 로타리(백킹) 펌프가 1차 진공을 만든 뒤 고진공 펌프가 이어받는 2단 구성이며, 본 제품은 일체형 시스템입니다.
차이디퓨전과 터보의 차이는?
디퓨전(HV)은 10⁻⁶ torr급·경제적, 터보(HVT)는 10⁻⁷ torr급·오일 역류가 적어 더 청정합니다. 증착·표면분석 등 요구 진공도에 따라 선택합니다.
운전운전 시 주의할 점은?
디퓨전 펌프는 냉각과 예열 순서를 지켜야 오일 손상이 없습니다. 급배기(벤트) 순서 등 운전 절차는 설치 시 교육해 드립니다.