삼흥에너지 1800℃ 튜브로 가스플로 패키지는 MoSi2 발열체·알루미나튜브로 초고온 소결·가스 분위기 열처리하는 관상로입니다. SP590 프로그램 · 국내 직접 A/S.
삼흥에너지 1800℃ 튜브로 가스플로 패키지는 MoSi2(이규화몰리브덴) 발열체를 사용하는 초고온 튜브로입니다. 세라믹 소결, 고온 상변태 실험 등 1500℃급으로도 부족한 공정에 씁니다. 알루미나튜브(50~274Φ)·Gas Flowmeter·SUS 316 가스라인이 한 대로 구성되고, B type 센서와 SP590 프로그램 컨트롤러를 씁니다. 로 분위기 온도 1650℃ 이하 사용에 적합합니다.
1
2
3
4
사진 번호 — ①본체 ②프로세스 튜브·클램프 ③가스 실링 플랜지·가스라인 ④프로그램 컨트롤러. 사진 좌우 하단의 MFC·BPR은 Alicat 통합제어 옵션 예시입니다. (마커 위치는 대략적입니다.)
위 항목은 패키지에 포함되지 않습니다. 필요한 구성을 알려주시면 퍼니스와 함께 셋업해 공급합니다 — 온도·가스 유량·진공을 하나로 묶는 통합 제어까지 지원합니다.
| Model | SH-FU-50TS-WG | SH-FU-80TS-WG | SH-FU-100TS-WG | SH-FU-120TS-WG |
|---|---|---|---|---|
| Furnace | SH-FU-50TS | SH-FU-80TS | SH-FU-100TS | SH-FU-120TS |
| Max Temp | 1800℃ | |||
| Temp Controller | Programmable Controller (SP590) | |||
| Sensor | B type | |||
| 적용 튜브경 | 50 Φ | 80 Φ | 100 Φ | 120 Φ |
| Heater | 3.4 KW | 4.3 KW | 4.9 KW | 5.4 KW |
| Hot Zone | Length 300 mm | |||
| External Dim. (W×D×H) | 690×550×980mm | 690×580×1010mm | 690×600×1030mm | 690×640×1110mm |
| Weight | 75 Kg | 83 Kg | 131 Kg | 160 Kg |
| Heater Element | MoSi2 (Molybdenum Disilicide) | |||
| 전원 (220V, 50/60Hz, 1Φ) | 14.7 A | 18.7 A | 21.3 A | 23.5 A |
| Components | Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Alumina Tube (Length 1000 mm) | |||
⚠ 실사용 온도는 스펙 최고온도보다 150℃ 낮게 잡으세요 (중요)
퍼니스는 스펙상 최고온도를 상시 사용 온도로 잡지 마세요. 실사용 최대치는 정격 최고온도보다 150℃ 낮게 설정하는 것을 권장합니다. 스펙 온도를 그대로 상시 사용하면 목표 온도에는 도달하더라도 열선(발열체)과 내화재(단열재)가 빠르게 소모·손상됩니다 — 열선·내화재는 소모품입니다. 예: 1800℃ 스펙 → 상시 사용은 1650℃ 이하 권장.
구성에 따라 사양·총액이 크게 달라집니다. 옵션과 별도 구성 항목은 필요한 것만 골라 넣을 수 있어, 같은 모델이라도 최종 사양이 달라집니다. 실험셋업연구소 매거진 — 구매·국내 A/S는 이머전트(Emergent co). 조건만 남겨주시면 맞는 구성과 견적으로 회신드립니다.
기본 원리튜브로(관상로) 가스플로 패키지는 어떤 장비인가요?
튜브로는 세라믹 튜브를 로 안에 통과시켜 그 안에서 시료를 열처리하는 관상형 전기로입니다. 이 패키지는 튜브·가스 실링 마스크·Gas Flowmeter·SUS316 가스라인을 한 대로 묶어 불활성/환원 가스 분위기와 승온 프로그램을 함께 제어합니다. 1800℃ 모델은 MoSi2 발열체·B type 센서·SP590 프로그램 컨트롤러(45 Step)를 씁니다.
적용 분야어떤 실험·공정에 쓰나요?
초고온 세라믹 소결, 고온 상변태·결정화, CVD·박막 성장, 특수 산화물·내화 소재 합성 등 1500℃급으로 부족한 가스 분위기 초고온 공정에 사용합니다. 튜브 안에서 가스 흐름을 제어하므로 분위기 재현성이 높습니다.
모델 선택1500℃ 모델과 어느 쪽을 골라야 하나요?
목표 온도가 1350℃ 이하면 1500℃ 모델(SiC)로 충분합니다. 그보다 높은 온도를 상시로 써야 하면 1800℃ 모델(MoSi2)이 필요합니다. 발열체 단가와 교체 주기가 달라지므로 목표 온도·유지시간을 기준으로 고르는 편이 좋습니다.
승온 제어승온 프로그램을 짤 수 있나요?
SP590 프로그램 컨트롤러로 승온율·유지·냉각을 최대 45 Step까지 프로그램해 자동 운전합니다. 같은 패턴을 저장해 반복 공정을 재현성 있게 다시 돌릴 수 있습니다.
가스 제어MFC·BPR을 붙이면 무엇이 좋아지나요?
MFC(질량유량계, Alicat)는 가스 종류별로 질량 기준 정밀 유량을 투입하고, BPR(백프레셔 레귤레이터)은 튜브 내부 양압을 유지해 외부 공기 유입을 막고 튜브 파손을 방지합니다. 실험셋업연구소가 온도·가스 유량을 하나의 스케줄로 묶는 통합 제어까지 셋업해 드립니다.
발열체MoSi2 발열체는 취급에 주의할 점이 있나요?
MoSi2는 고온에서 표면에 보호층이 형성되는데, 저온 구간에서 장시간 유지하면 이 층이 제대로 형성되지 않아 수명이 짧아질 수 있습니다. 또 상온에서 취성이 있어 물리적 충격에 약합니다. 실제 운전 조건을 알려주시면 발열체 수명 관점에서 같이 검토해 드립니다.
진공·분위기진공·무산소 분위기 공정도 되나요?
Gas Sealing Mask로 튜브 양단을 밀봉하고 BPR로 양압을 유지하면 무산소 분위기를 만들 수 있습니다. 감압·퍼지가 필요하면 진공펌프를 별도로 함께 셋업합니다.
온도실제로 몇 도까지 상시로 쓸 수 있나요?
스펙은 1800℃지만 로 분위기 온도 1650℃ 이하 사용을 권장합니다.