삼흥에너지 1500℃ 튜브로 가스플로 패키지는 SiC 발열체·알루미나튜브로 고온 소결·가스 분위기 열처리하는 관상로입니다. 프로그램 컨트롤러 · 국내 직접 A/S.
삼흥에너지 1500℃ 튜브로 가스플로 패키지는 SiC(탄화규소) 발열체를 사용해 1200℃급으로는 부족한 고온 소결·열처리에 대응합니다. 알루미나튜브(50~274Φ)와 Gas Flowmeter·Sealing Mask·SUS 316 가스라인이 한 대로 구성되며, R type 센서와 프로그램 컨트롤러(45 Step)로 승온·유지 조건을 짭니다. 로 분위기 온도 1350℃ 이하 사용에 적합합니다.
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사진 번호 — ①본체 ②프로세스 튜브·클램프 ③가스 실링 플랜지·가스라인 ④프로그램 컨트롤러. 사진 좌우 하단의 MFC·BPR은 Alicat 통합제어 옵션 예시입니다. (마커 위치는 대략적입니다.)
위 항목은 패키지에 포함되지 않습니다. 필요한 구성을 알려주시면 퍼니스와 함께 셋업해 공급합니다 — 온도·가스 유량·진공을 하나로 묶는 통합 제어까지 지원합니다.
| Model | SH-FU-50TH-WG | SH-FU-80TH-WG | SH-FU-100TH-WG | SH-FU-120TH-WG |
|---|---|---|---|---|
| Furnace | SH-FU-50TH | SH-FU-80TH | SH-FU-100TH | SH-FU-120TH |
| Max Temp | 1500℃ | |||
| Temp Controller | Programmable Controller | |||
| Sensor | R type | |||
| 적용 튜브경 | 50 Φ | 80 Φ | 100 Φ | 120 Φ |
| Heater | 3.3 KW | 5.2 KW | 5.2 KW | 6.7 KW |
| Hot Zone | Length 300 mm | |||
| External Dim. (W×D×H) | 682×487×580mm | 682×517×610mm | 682×547×640mm | 682×570×730mm |
| Weight | 67 Kg | 72 Kg | 114 Kg | 145 Kg |
| Heater Element | SiC (Silicon Carbide) | |||
| 전원 (220V, 50/60Hz, 1Φ) | 14.3 A | 22.6 A | 22.6 A | 29.1 A |
| Components | Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Alumina Tube (Length 1000 mm) | |||
⚠ 실사용 온도는 스펙 최고온도보다 150℃ 낮게 잡으세요 (중요)
퍼니스는 스펙상 최고온도를 상시 사용 온도로 잡지 마세요. 실사용 최대치는 정격 최고온도보다 150℃ 낮게 설정하는 것을 권장합니다. 스펙 온도를 그대로 상시 사용하면 목표 온도에는 도달하더라도 열선(발열체)과 내화재(단열재)가 빠르게 소모·손상됩니다 — 열선·내화재는 소모품입니다. 예: 1500℃ 스펙 → 상시 사용은 1350℃ 이하 권장.
구성에 따라 사양·총액이 크게 달라집니다. 옵션과 별도 구성 항목은 필요한 것만 골라 넣을 수 있어, 같은 모델이라도 최종 사양이 달라집니다. 실험셋업연구소 매거진 — 구매·국내 A/S는 이머전트(Emergent co). 조건만 남겨주시면 맞는 구성과 견적으로 회신드립니다.
기본 원리튜브로(관상로) 가스플로 패키지는 어떤 장비인가요?
튜브로는 세라믹/석영 튜브를 로 안에 통과시켜 그 안에서 시료를 열처리하는 관상형 전기로입니다. 이 패키지는 튜브·가스 실링 마스크·Gas Flowmeter·SUS316 가스라인을 한 대로 묶어 불활성/환원 가스 분위기와 승온 프로그램을 함께 제어합니다. 1500℃ 모델은 SiC 발열체·R type 센서·프로그램 컨트롤러(45 Step)를 씁니다.
적용 분야어떤 실험·공정에 쓰나요?
CVD·박막 성장, 분말·세라믹 소결, 환원/산화 분위기 열처리, 촉매 전처리, 탄소소재·배터리 소재 합성 등 가스 분위기가 중요한 고온 공정에 사용합니다. 튜브 안에서 가스 흐름을 제어하므로 배치식 머플로보다 분위기 재현성이 높습니다.
모델 선택1200℃ 모델과 무엇이 다른가요?
발열체가 Kanthal A-1 → SiC로 바뀌고 센서가 K type → R type이 됩니다. 튜브도 석영이 아닌 알루미나를 씁니다. 1200℃ 모델보다 상시 사용 가능 온도가 높지만, 발열체·튜브가 모두 고온용이라 소모품 단가도 올라갑니다.
승온 제어승온 프로그램을 짤 수 있나요?
프로그램 컨트롤러로 승온율·유지·냉각을 최대 45 Step까지 프로그램해 자동 운전합니다. 같은 패턴을 저장해 반복 공정을 재현성 있게 다시 돌릴 수 있습니다.
가스 제어MFC·BPR을 붙이면 무엇이 좋아지나요?
MFC(질량유량계, Alicat)는 가스 종류별로 질량 기준 정밀 유량을 투입하고, BPR(백프레셔 레귤레이터)은 튜브 내부 양압을 유지해 외부 공기 유입을 막고 튜브 파손을 방지합니다. 실험셋업연구소가 온도·가스 유량을 하나의 스케줄로 묶는 통합 제어까지 셋업해 드립니다.
튜브석영튜브를 쓸 수 있나요?
석영은 1200℃ 부근이 한계라 1500℃급에서는 알루미나튜브를 사용합니다. 기본 구성이 알루미나튜브 1000mm입니다.
진공·분위기진공·무산소 분위기 공정도 되나요?
Gas Sealing Mask로 튜브 양단을 밀봉하고 BPR로 양압을 유지하면 무산소 분위기를 만들 수 있습니다. 감압·퍼지가 필요하면 진공펌프를 별도로 함께 셋업합니다.
온도실제로 몇 도까지 상시로 쓸 수 있나요?
스펙은 1500℃지만 로 분위기 온도 1350℃ 이하 사용을 권장합니다. 스펙 온도를 상시로 쓰면 SiC 발열체와 내화재가 빠르게 소모됩니다.