삼흥에너지 Gas Flow Package는 튜브 전기로에 가스 플로우미터·석영튜브·가스라인을 통합한 1200℃ CVD·가스 분위기 제어 패키지입니다. 300mm 항온대, MFC·BPR은 옵션, 국내 직접 A/S.
삼흥에너지 SH-FU-□STG-WG는 튜브 전기로에 스탠다드 가스 플로우미터·석영튜브·가스라인을 통합한 1200℃ 가스플로 패키지입니다. MFC·BPR은 옵션으로, 정밀 질량유량제어·양압 유지(무산소 분위기)가 필요할 때 추가합니다. 노내 300mm 항온대, 적용 튜브경 50~120Φ.
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사진 번호 — ①튜브 전기로 본체 ②석영 프로세스 튜브·Gas Sealing ③Gas Flowmeter ④SUS316 배관·밸브·압력게이지. (마커 위치는 대략적이며 모델·구성에 따라 다를 수 있습니다.)
| 옵션 | 역할 · 언제 추가하나 |
|---|---|
| 가스질량유량계 MFC Multi gas selectable · MC / MCV / MCS / MCSS |
가스 종류·유량을 질량 기준으로 정밀 제어할 때. 단순 유량 확인만 필요하면 기본 스탠다드 플로우미터로 충분합니다. |
| 압력컨트롤러 BPR Back Pressure Regulator · BPR / BPRS / BPRSS |
튜브 내부 양압을 유지해 무산소 분위기를 만들고 튜브 파손을 막을 때. |
| 이동식 암후드 Mobile Lab Hood SH-HD-MUP |
반응가스·분진을 국소 배기할 때. |
| 안전 덮개 Safety Cover 튜브로 양끝단 50~80Ø · 좌/우 2개 1SET |
반응가스 응축·화상·튜브 파손을 막을 때. |
| 석영 웨이퍼 캐리어 Quartz wafer carrier · 2˝~8˝ |
웨이퍼 시료를 거치할 때. 웨이퍼 크기별로 규격이 다릅니다. |
| 석영 디퓨저 Quartz Gas Diffuser |
가스 확산을 균일화할 때. 튜브경별로 규격이 다릅니다. |
| 가스 수분제거 Column Vacuum Meter · 추가 가스 모듈 |
투입 가스의 수분 제거 / 진공도 확인 / 가스 계통 증설이 필요할 때. |
위 항목은 패키지에 포함되지 않습니다. 필요한 구성을 알려주시면 퍼니스와 함께 셋업해 공급합니다 — 온도·가스 유량·진공을 하나로 묶는 통합 제어까지 지원합니다.
| Model | SH-FU-50STG-WG | SH-FU-80STG-WG | SH-FU-100STG-WG | SH-FU-120STG-WG |
|---|---|---|---|---|
| Furnace | SH-FU-50STG | SH-FU-80STG | SH-FU-100STG | SH-FU-120STG |
| Max Temp | 1200℃ (2192℉) | |||
| Temp Controller | Programmable Controller | |||
| Sensor | K type | |||
| 적용 튜브경 (Tube Ø) | 50 Φ | 80 Φ | 100 Φ | 120 Φ |
| Heater | 2200 W | 2600 W | 3700 W | 4000 W |
| Hot Zone | Length 300 mm | |||
| External Dim. (W×D×H) | 502×357×517 mm | 502×365×537 mm | 502×397×557 mm | 502×455×630 mm |
| Weight | 27 kg | 32 kg | 48 kg | 70 kg |
| Heater Element | Kanthal A-1 | |||
| 전원 (220V, 50/60Hz, 1Φ) | 9.5 A | 11.3 A | 16.0 A | 17.3 A |
| Components | Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube (Length 1000 mm) | |||
⚠ 실사용 온도는 스펙 최고온도보다 150℃ 낮게 잡으세요 (중요)
퍼니스는 스펙상 최고온도를 상시 사용 온도로 잡지 마세요. 실사용 최대치는 정격 최고온도보다 150℃ 낮게 설정하는 것을 권장합니다. 스펙 온도를 그대로 상시 사용하면 목표 온도에는 도달하더라도 열선(발열체)과 내화재(단열재)가 빠르게 소모·손상됩니다 — 열선·내화재는 소모품입니다. 예: 1200℃ 스펙 → 상시 사용은 1050℃ 이하 권장.
기본(Standard): 스탠다드 Gas Flowmeter 포함. 옵션(Option): MFC · BPR · Safety Cover · 가스 수분제거 Column · Vacuum Meter · 추가 가스 모듈.
구성에 따라 총액이 크게 달라집니다. 위 옵션과 별도 구성 항목은 필요한 것만 골라 넣을 수 있어, 같은 모델이라도 최종 사양이 달라집니다. 실험셋업연구소 매거진 — 구매·국내 A/S는 이머전트(Emergent co). 구성·수량별 정확한 견적은 아래 [견적 문의]로 조건만 남겨주시면 회신드립니다.
기본 구성이 CVD 가스플로 패키지에는 무엇이 포함되나요?
기본 구성은 튜브 전기로 + 스탠다드 Gas Flowmeter + 석영튜브 + Gas Sealing Mask + SUS316 배관·밸브·압력게이지입니다. MFC·BPR·Safety Cover·진공 연결은 옵션입니다.
유량 제어스탠다드 플로우미터와 MFC는 무엇이 다른가요?
기본 제공되는 스탠다드 Gas Flowmeter(로타미터)는 눈금으로 유량을 확인·수동 조절하는 방식이고, MFC(질량유량계)는 가스 종류별 질량 기준으로 유량을 설정값에 맞춰 자동 제어합니다. 재현성 있는 정밀 유량·다가스 전환이 필요하면 MFC를, 단순 유량 확인만 필요하면 스탠다드로 충분합니다.
옵션MFC·BPR은 언제 추가하나요?
MFC는 가스 종류·유량을 정밀 제어할 때, BPR(압력컨트롤러)은 튜브 내부 양압을 유지해 무산소 분위기를 만들고 튜브 파손을 막을 때 옵션으로 추가합니다.
사양적용 튜브경과 Hot Zone은 어떻게 되나요?
기본 적용 튜브경은 Ø50~120(제작 Ø50~500mm), Hot Zone은 300mm입니다. 최고온도 1200℃, 발열체 Kanthal A-1, 프로그램 컨트롤러·K type 센서.
적용 분야어떤 공정·실험에 쓰나요?
CVD·CVT 등 기상 반응, 그래핀·CNT·나노소재 합성, 열분해(pyrolysis)·환원, 소성, 어닐링 등 가스 분위기가 필요한 열처리에 씁니다. 불활성(N₂·Ar)·환원(H₂ 혼합) 등 목적 가스를 튜브로 흘려 반응 분위기를 만듭니다.
운전 온도실제로 몇 도까지 상시로 쓸 수 있나요?
스펙은 1200℃지만 로 분위기 온도 1000℃ 이하 상시 사용을 권장합니다. 스펙 최고온도를 그대로 상시 사용하면 열선(발열체)과 내화재가 빠르게 소모·손상됩니다 — 열선·내화재는 소모품입니다.
별도 구성이 패키지에 진공펌프나 칠러가 포함되나요?
포함되지 않습니다. 실링마스크 냉각용 칠러 · 진공펌프 · Moving Frame은 패키지 미포함이며 별도 구성입니다. 실험셋업연구소에서 퍼니스와 함께 공급·셋업하므로, 필요 사양을 알려주시면 견적에 포함해 드립니다.
통합 제어온도와 가스 유량을 하나로 묶어 제어할 수 있나요?
네. 승온 스케줄(온도 프로그램)과 MFC 가스 유량을 함께 셋업하면 온도·유량을 하나의 시퀀스로 자동 제어할 수 있습니다. 실험셋업연구소는 Alicat MFC 등과 연동해 온도·가스·진공을 묶는 통합 제어 셋업까지 지원합니다.