삼흥에너지 1200℃ 3존 튜브로는 200mm Hot Zone 3개를 각각 독립 컨트롤러로 제어해 온도 구배 또는 600mm 균일 항온대로 쓰는 CVD·가스플로 튜브 전기로입니다. 튜브 50~500mm 제작, 국내 직접 A/S.
삼흥에너지 3존 튜브로 가스플로 패키지는 200mm Hot Zone 3개를 각각 별도 컨트롤러로 제어합니다. 구간별로 다른 온도를 걸 수 있어 온도 구배(gradient)가 필요한 공정이나, 3구간을 같은 온도로 맞춰 600mm 균일 항온대로 쓰는 두 가지 방식이 모두 가능합니다. 튜브직경은 50~500mm까지 제작 가능하고, 45 Step 온도 프로그램 제어를 지원합니다.
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사진 번호 — ①3존 튜브로 본체 ②존별 컨트롤러 3개 ③석영 프로세스 튜브·Gas Sealing ④Gas Flowmeter·SUS316 배관. (마커 위치는 대략적이며 모델·구성에 따라 다를 수 있습니다.)
위 항목은 패키지에 포함되지 않습니다. 필요한 구성을 알려주시면 퍼니스와 함께 셋업해 공급합니다 — 온도·가스 유량·진공을 하나로 묶는 통합 제어까지 지원합니다.
| Model | SH-FU-50LTG-3-WG | SH-FU-80LTG-3-WG | SH-FU-100LTG-3-WG | SH-FU-120LTG-3-WG |
|---|---|---|---|---|
| Furnace | SH-FU-50LTG-3 | SH-FU-80LTG-3 | SH-FU-100LTG-3 | SH-FU-120LTG-3 |
| Max Temp | 1200℃ (2192℉) | |||
| Temp Controller | Programmable Controller × 3 | |||
| Sensor | K type | |||
| 적용 튜브경 | 50 Φ | 80 Φ | 100 Φ | 120 Φ |
| Heater | 1.15kW × 3zone = 3.45kW | 1.8kW × 3zone = 5.4kW | 2.0kW × 3zone = 6.0kW | 2.3kW × 3zone = 6.9kW |
| Hot Zone | 200mm × 3 Zone (Length 600mm) | |||
| External Dim. (W×D×H) | 850×370×540mm | 850×400×570mm | 850×430×600mm | 850×460×660mm |
| Weight | 52 Kg | 56 Kg | 68 Kg | 105 Kg |
| Heater Element | Kanthal A-1 | |||
| 전원 (220V, 50/60Hz, 1Φ) | 15 A | 23.5 A | 26 A | 30 A |
| Components | Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube (Length 1200 mm) | |||
⚠ 실사용 온도는 스펙 최고온도보다 150℃ 낮게 잡으세요 (중요)
퍼니스는 스펙상 최고온도를 상시 사용 온도로 잡지 마세요. 실사용 최대치는 정격 최고온도보다 150℃ 낮게 설정하는 것을 권장합니다. 스펙 온도를 그대로 상시 사용하면 목표 온도에는 도달하더라도 열선(발열체)과 내화재(단열재)가 빠르게 소모·손상됩니다 — 열선·내화재는 소모품입니다. 예: 1200℃ 스펙 → 상시 사용은 1050℃ 이하 권장.
구성에 따라 사양·총액이 크게 달라집니다. 옵션과 별도 구성 항목은 필요한 것만 골라 넣을 수 있어, 같은 모델이라도 최종 사양이 달라집니다. 실험셋업연구소 매거진 — 구매·국내 A/S는 이머전트(Emergent co). 조건만 남겨주시면 맞는 구성과 견적으로 회신드립니다.
존 제어3존이면 구간마다 다른 온도를 걸 수 있나요?
네. Hot Zone 3개에 컨트롤러가 각각 붙어 있어 존별로 다른 목표 온도를 설정할 수 있습니다. 온도 구배가 필요한 CVD·기상수송 공정에 씁니다. 반대로 3존을 같은 온도로 맞추면 600mm 균일 항온대가 됩니다.
기본 구성이 패키지에는 무엇이 포함되나요?
기본 구성은 3존 튜브 전기로 본체 + 존별 독립 프로그램 컨트롤러 3개 + 석영튜브(1200mm) + Gas Sealing Mask + Gas Flowmeter + SUS316 배관·밸브·압력게이지입니다. MFC·BPR·Safety Cover·디지털 진공메타 등은 옵션입니다.
옵션MFC·BPR은 언제 추가하나요?
MFC는 가스 종류·유량을 정밀 제어할 때, BPR은 튜브 내부 양압을 유지해 무산소 분위기·튜브 파손을 막을 때 옵션으로 추가합니다. 단순 유량 확인만 필요하면 기본 Gas Flowmeter로 충분합니다.
모델 선택단일존 600mm 모델과 무엇을 기준으로 고르나요?
구간별 온도를 다르게 걸어야 하면 3존, 넓은 구간을 하나의 온도로 균일하게 유지하면 되면 단일존 600mm가 단순하고 경제적입니다. 판단이 어려우면 시료·공정 조건을 남겨주시면 맞는 쪽으로 회신드립니다.
사양튜브 직경은 어디까지 되나요?
기본 사양은 50·80·100·120Φ이고, 50~500mm까지 제작 가능합니다. 최고온도 1200℃, 발열체 Kanthal A-1, 45 Step 프로그램 제어.
적용 분야3존 온도 구배는 어떤 공정에 쓰나요?
존별로 온도를 달리하는 온도 구배(gradient)는 기상 수송(CVT) 결정 성장, 2D 소재·나노와이어 합성, 단계적 열분해·환원 등에 씁니다. 원료존·반응존·회수존을 다른 온도로 잡아 한 튜브 안에서 이송·반응을 제어합니다.
운전 온도실제로 몇 도까지 상시로 쓸 수 있나요?
스펙은 1200℃지만 로 분위기 온도 1000℃ 이하 상시 사용을 권장합니다. 스펙 최고온도를 그대로 상시 사용하면 열선(발열체)과 내화재가 빠르게 소모·손상됩니다 — 열선·내화재는 소모품입니다.
통합 제어존별 온도와 가스 유량을 함께 제어할 수 있나요?
네. 존별 승온 스케줄과 MFC 가스 유량을 함께 셋업하면 3구간 온도와 가스 흐름을 하나의 시퀀스로 자동 제어할 수 있습니다. 실험셋업연구소는 Alicat MFC 등과 연동한 통합 제어 셋업까지 지원합니다.