삼흥에너지 SH-FU-□STG-WG는 튜브 전기로에 스탠다드 가스 플로우미터·석영튜브·가스라인을 통합한 1200℃ 가스플로 패키지입니다. MFC·BPR은 옵션으로, 정밀 질량유량제어·양압 유지(무산소 분위기)가 필요할 때 추가합니다. 노내 300mm 항온대, 적용 튜브경 50~120Φ.
기본 구성 (Standard)
- 튜브 전기로 본체 — 1200℃ · 300mm Hot Zone
- Gas별 전용 Gas Flowmeter 1EA — 기본 제공, 가스 유량 확인·조절
- 석영튜브(Quartz Tube, 1000mm) · Gas Sealing Mask
- Seamless SUS 316 배관 & 밸브 · Connector · 압력게이지
옵션 (Option) — 필요할 때만 추가
| 옵션 | 역할 · 언제 추가하나 |
|---|---|
| 가스질량유량계 MFC Multi gas selectable · MC / MCV / MCS / MCSS |
가스 종류·유량을 질량 기준으로 정밀 제어할 때. 단순 유량 확인만 필요하면 기본 스탠다드 플로우미터로 충분합니다. |
| 압력컨트롤러 BPR Back Pressure Regulator · BPR / BPRS / BPRSS |
튜브 내부 양압을 유지해 무산소 분위기를 만들고 튜브 파손을 막을 때. |
| 이동식 암후드 Mobile Lab Hood SH-HD-MUP |
반응가스·분진을 국소 배기할 때. |
| 안전 덮개 Safety Cover 튜브로 양끝단 50~80Ø · 좌/우 2개 1SET |
반응가스 응축·화상·튜브 파손을 막을 때. |
| 석영 웨이퍼 캐리어 Quartz wafer carrier · 2˝~8˝ |
웨이퍼 시료를 거치할 때. 웨이퍼 크기별로 규격이 다릅니다. |
| 석영 디퓨저 Quartz Gas Diffuser |
가스 확산을 균일화할 때. 튜브경별로 규격이 다릅니다. |
| 가스 수분제거 Column Vacuum Meter · 추가 가스 모듈 |
투입 가스의 수분 제거 / 진공도 확인 / 가스 계통 증설이 필요할 때. |
별도 구성 (패키지 미포함)
- 실링마스크 냉각용 칠러 — 장시간 고온 운전 시 실링부 냉각
- 진공펌프 — 감압·퍼지 운전이 필요할 때
- Moving Frame — 노체 이동 구조물
위 항목은 패키지에 포함되지 않습니다. 필요한 구성을 알려주시면 퍼니스와 함께 셋업해 공급합니다 — 온도·가스 유량·진공을 하나로 묶는 통합 제어까지 지원합니다.
| Model | SH-FU-50STG-WG | SH-FU-80STG-WG | SH-FU-100STG-WG | SH-FU-120STG-WG |
|---|---|---|---|---|
| Furnace | SH-FU-50STG | SH-FU-80STG | SH-FU-100STG | SH-FU-120STG |
| Max Temp | 1200℃ (2192℉) | |||
| Temp Controller | Programmable Controller (FC-1000) | |||
| Sensor | K type | |||
| 적용 튜브경 (Tube Ø) | 50 Φ | 80 Φ | 100 Φ | 120 Φ |
| Heater | 2200 W | 2600 W | 3700 W | 4000 W |
| Hot Zone | Length 300 mm | |||
| External Dim. (W×D×H) | 502×357×517 mm | 502×365×537 mm | 502×397×557 mm | 502×455×630 mm |
| Weight | 27 kg | 32 kg | 48 kg | 70 kg |
| Heater Element | Kanthal A-1 | |||
| 전원 (220V, 50/60Hz, 1Φ) | 9.5 A | 11.3 A | 16.0 A | 17.3 A |
| Components | Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube (Length 1000 mm) | |||
⚠ 실사용 온도는 스펙 최고온도보다 150℃ 낮게 잡으세요 (중요)
퍼니스는 스펙상 최고온도를 상시 사용 온도로 잡지 마세요. 실사용 최대치는 정격 최고온도보다 150℃ 낮게 설정하는 것을 권장합니다. 스펙 온도를 그대로 상시 사용하면 목표 온도에는 도달하더라도 열선(발열체)과 내화재(단열재)가 빠르게 소모·손상됩니다 — 열선·내화재는 소모품입니다. 예: 1200℃ 스펙 → 상시 사용은 1050℃ 이하 권장.
기본(Standard): 스탠다드 Gas Flowmeter 포함. 옵션(Option): MFC · BPR · Safety Cover · 가스 수분제거 Column · Vacuum Meter · 추가 가스 모듈.
구성에 따라 총액이 크게 달라집니다. 위 옵션과 별도 구성 항목은 필요한 것만 골라 넣을 수 있어, 같은 모델이라도 최종 사양이 달라집니다. 삼흥에너지 공식 대리점 실험셋업연구소 — 정품·국내 A/S. 구성·수량별 정확한 견적은 아래 [견적 문의]로 조건만 남겨주시면 회신드립니다.