삼흥에너지(SH Scientific)는 튜브퍼니스(관상로), 박스형 전기로(머플로), 건조기 등 국내 열처리 실험 장비를 만드는 제조사입니다. 이 페이지는 삼흥에너지 열처리 장비를 소개하고, 실험셋업연구소의 제어 소프트웨어가 그 온도 스케줄과 Alicat MFC 가스 유량을 연동하는 호환성·셋업 정보를 정리합니다.
삼흥에너지 열처리 장비
삼흥에너지는 실험실 열처리에 쓰이는 여러 유형의 로(爐)를 제조합니다. 대표적으로 다음과 같은 장비군이 있습니다.
- 튜브퍼니스(관상로) — 관 내부에 시료를 두고 가스 분위기 하에서 열처리. CVD·소성·환원 실험 등에 사용.
- 박스형 전기로(머플로) — 대기 중 고온 소성·회화·열처리에 쓰이는 챔버형 로.
- 건조기·기타 — 시료 건조·전처리용 장비.
튜브퍼니스 열처리에서 중요한 것
- 승온 프로파일 — 램프(승온 속도)·유지(목표 온도 홀드)·냉각을 정확히 지키는 것이 결과 재현의 핵심입니다.
- 가스 분위기 — 불활성(N2·Ar)·환원(H2 포함) 등 목표 분위기와 혼합비를 유지해야 시료 산화·조성을 통제할 수 있습니다.
- 안전 — 가연성 가스·고온을 다루므로 유량·온도 한계와 인터록 등 안전 조건을 함께 설계해야 합니다.
온도 스케줄에 가스 유량을 연동하면
튜브퍼니스 실험의 재현성은 온도와 가스를 따로 다루지 않고 하나의 스케줄로 묶을 때 크게 올라갑니다. 온도컨트롤러의 승온 프로파일에 맞춰 Alicat MFC의 가스 유량과 혼합비를 자동으로 바꾸도록 연동하면, 예를 들어 특정 온도 구간에서 환원 가스 비율을 높이거나 유지 구간에서 캐리어 가스만 흘리는 식의 시퀀스를 사람이 지키지 않아도 정확히 재현할 수 있습니다.
| 단계 | 온도 | 가스(MFC 연동) |
|---|---|---|
| 승온(램프) | 목표 속도로 승온 | 불활성 가스 퍼지 유량 유지 |
| 유지(홀드) | 목표 온도 유지 | 반응·환원 가스 비율로 전환 |
| 냉각 | 서냉·강냉 | 불활성 가스로 복귀·퍼지 |
이렇게 온도 스케줄과 MFC 유량을 제어 소프트웨어로 함께 스케줄링하면 승온부터 냉각까지 정해진 프로파일대로 진행되고 데이터가 기록되어, 열처리 셋업을 무인·재현으로 돌릴 수 있습니다.
실험셋업연구소의 연동 지원
실험셋업연구소는 삼흥에너지 튜브퍼니스 같은 열처리 장비의 온도 스케줄과 Alicat MFC 가스 유량을 제어 소프트웨어로 연동하는 셋업을 지원합니다. 사용하시는 로의 온도컨트롤러와 다루는 가스 구성을 알려주시면, 온도·가스를 하나의 스케줄로 묶는 무인·재현 셋업을 함께 정리해 드립니다.
실제 셋업 사례
1500℃ 튜브퍼니스 가스 분위기 제어 — Alicat MFC 도입 사례 →
삼흥에너지 1500℃ 튜브퍼니스에 Alicat MFC와 제어 소프트웨어를 연동해 온도·가스를 함께 제어한 사례입니다.
열처리 셋업이 필요하면
사용하시는 튜브퍼니스·전기로의 온도컨트롤러와 다루는 가스 종류·유량을 알려주시면, 온도 스케줄에 MFC 유량을 연동하는 셋업 구성과 소프트웨어 연동 방법을 함께 정리해 드립니다.