삼흥에너지 SH-FU-□LTG-WG는 튜브 전기로에 스탠다드 가스 플로우미터·석영튜브·가스라인을 통합한 1200℃ · 600mm Hot Zone 가스플로 패키지입니다. 로 분위기온도 1000℃ 이하 적합(1100℃ 옵션), 튜브직경 50~500mm 제작 가능. MFC·BPR은 옵션입니다.
기본 구성 (Standard)
튜브 전기로 본체 — 1200℃ · 600mm Hot Zone · 온도 프로그램 45 Step 제어
Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube (Length 1200 mm)
⚠ 실사용 온도는 스펙 최고온도보다 150℃ 낮게 잡으세요 (중요)
퍼니스는 스펙상 최고온도를 상시 사용 온도로 잡지 마세요. 실사용 최대치는 정격 최고온도보다 150℃ 낮게 설정하는 것을 권장합니다. 스펙 온도를 그대로 상시 사용하면 목표 온도에는 도달하더라도 열선(발열체)과 내화재(단열재)가 빠르게 소모·손상됩니다 — 열선·내화재는 소모품입니다. 예: 1200℃ 스펙 → 상시 사용은 1050℃ 이하 권장.
기본(Standard): 스탠다드 Gas Flowmeter 포함. 옵션(Option): MFC & BPR · Safety Cover · 디지털 진공메타 · 가스 수분제거 Column · 추가 가스 모듈. 구성에 따라 총액이 크게 달라집니다. 위 옵션과 별도 구성 항목은 필요한 것만 골라 넣을 수 있어, 같은 모델이라도 최종 사양이 달라집니다. 삼흥에너지 공식 대리점 실험셋업연구소 — 정품·국내 A/S. 구성·수량별 정확한 견적은 아래 [견적 문의]로 조건만 남겨주시면 회신드립니다.
이 제품 FAQ
이 CVD 가스플로 패키지에는 무엇이 포함되나요?
기본 구성은 튜브 전기로 + 스탠다드 Gas Flowmeter + 석영튜브 + Gas Sealing Mask + SUS316 배관·밸브입니다. MFC·BPR·Safety Cover·진공 연결은 옵션입니다.
MFC·BPR은 언제 추가하나요?
MFC(질량유량계)는 가스 종류·유량을 정밀 제어할 때, BPR(압력컨트롤러)은 튜브 내부 양압을 유지해 무산소 분위기·튜브 파손을 막을 때 옵션으로 추가합니다. 단순 유량 확인만 필요하면 기본 스탠다드 플로우미터로 충분합니다.
적용 튜브경과 Hot Zone은 어떻게 되나요?
적용 튜브경은 Ø50~120(제작 Ø50~500mm), Hot Zone은 600mm입니다. 최고온도 1200℃, 발열체 Kanthal A-1.
