전기로는 형태·용도로 나뉩니다. 챔버형(박스·머플), 관형(튜브), 회전(로터리), 엘레베이터, 진공·분위기, CVD 등입니다. 고르는 축은 시료(크기·형태) · 분위기(대기/불활성/진공) · 처리량 · 온도대입니다.
종류별 특징
| 종류 | 특징·용도 | 분위기 | 삼흥 예시 |
|---|---|---|---|
| 박스(머플) | 대용량 회화·소성·범용 열처리 | 대기 중심 | MG·MH·MS |
| 튜브(관상) | 관 내 정밀 열처리·CVD·환원 | 불활성·환원·진공 | TG·TH |
| 3존 튜브 | 긴 균일구간·구간별 프로파일 | 불활성·환원 | TS |
| 회전(로터리) | 분체 연속 교반·열처리 | 불활성·환원 | RTG |
| 엘레베이터 | 바닥 승강식·대형/중량 시료 | 대기·분위기 | MGU·MHU·MSU |
| 진공·분위기 | 산화 차단·탈가스·치환 | 진공·불활성 | MGV·MHV·MSV |
| CVD 시스템 | 튜브 기반 박막 증착(가스·진공 구성) | 정밀 분위기 | SH-CVD |
삼흥 라인업의 유형 분포
삼흥에너지 123개 모델의 유형 분포는 박스전기로 32 · 튜브전기로 25 · CVD·가스플로 29 · 진공전기로 13 · 회전튜브로 16 · 엘레베이터 8종으로, 대기 소성부터 정밀 분위기·연속 처리까지 전 영역을 포함합니다.
온도대와 함께 정해집니다
종류를 정한 다음에는 온도대(=발열체)를 함께 봐야 합니다. ~1,200℃는 FeCrAl(칸탈), ~1,500℃는 SiC, 1,700~1,900℃는 MoSi₂가 담당합니다(아래 표).
| 발열체 | 최대 소자온도 | 대표 퍼니스 온도대 |
|---|---|---|
| NiCr(니크롬) | ~1,250℃ | 건조·저온 열처리 |
| FeCrAl(칸탈) | ~1,425℃ | ~1,200℃급 머플·튜브 |
| SiC(실리콘카바이드) | ~1,625℃ | ~1,500℃급 |
| MoSi₂(몰리브덴 디실리사이드) | ~1,850℃ | 1,700~1,900℃급 |
※ 발열체 최대 소자온도: Kanthal 공식 자료 기준. 소자온도는 챔버(노 내부)보다 높으며 실제 최고 사용온도는 이보다 낮게 설정.
이럴 땐 이 종류
- 대기 중 대량 회화·소성 → 박스(머플)
- 가스 분위기·CVD·환원 소결 → 튜브 / 긴 균일구간 → 3존 튜브
- 분체를 연속으로 → 회전(로터리)
- 대형·중량 시료 빈번 → 엘레베이터
- 산화 완전 차단·탈가스 → 진공·분위기
- 박막 증착 → CVD 시스템
절대 하면 안 되는 것
- 분위기가 필요한데 대기 머플로로 — 환원·CVD는 튜브/진공형이어야 합니다. 종류 미스매치는 재현성·안전 문제로 이어집니다.
- 큰 시료를 좁은 튜브에 — 용량·형태가 안 맞으면 온도 편차·오염이 생깁니다.
- 상한온도 초과 운전 — 발열체 최대 소자온도(FeCrAl 1,425 · SiC 1,625 · MoSi₂ 1,850℃) 초과 금지.
가스·온도를 하나로 — PC 통합 제어
분위기 실험의 재현성은 온도와 가스를 따로 돌릴 때 무너집니다. 실험셋업연구소(이머전트)는 온도컨트롤러의 승온 프로파일(램프·유지·냉각)에 Alicat MFC 가스 유량·혼합비를 자동 연동하는 가스·온도 PC 통합 제어 프로그램을 제공합니다. 온도와 가스를 하나의 스케줄로 묶어 무인·재현 운전과 데이터 기록이 가능합니다.
자주 묻는 질문
박스로와 튜브로, 뭐가 다른가요?
박스로(머플)는 대기 중 대용량 소성·회화에, 튜브로는 관 내부 가스 분위기·정밀 열처리에 적합합니다. 자세한 비교는 튜브 vs 머플 글을 참고하세요.
회전(로터리) 튜브로는 언제 쓰나요?
분체를 연속으로 교반하며 균일하게 열처리할 때 씁니다. 배치 방식보다 처리량·균일성이 유리합니다.
CVD 시스템이란 무엇인가요?
튜브로를 기반으로 가스·진공 구성을 더해 박막을 증착하는 시스템입니다. 정밀한 분위기·유량 제어가 핵심입니다.
실험셋업연구소(이머전트)는 삼흥에너지(SH Scientific) 공식 대리점(국내 A/S)으로, 정품 공급·설치·수리와 온도컨트롤러에 Alicat MFC를 연동한 가스·온도 PC 통합 제어까지 지원합니다.
근거·출처: 발열체 최대 소자온도(FeCrAl 1,425 · SiC 1,625 · MoSi₂ 1,850℃) — Kanthal · 삼흥에너지 모델수·온도·용량·가격 — 삼흥에너지(SH Scientific) 카탈로그 데이터 기준.