삼흥에너지 1500℃ CVD 튜브로는 발열체가 SiC 로 올라간 등급입니다. 1200℃ 판으로 안 되는 세라믹·탄화물 계열 공정에 씁니다. 튜브경 Φ50~120.
1200℃ 와 1500℃ 를 가르는 것은 발열체입니다. Kanthal A-1 은 1200℃ 근처가 한계라 그 위는 SiC 로 갑니다. 튜브도 석영에서 고순도 알루미나로 바뀝니다. 실사용에서는 정격보다 200℃ 낮게 상시 운전하는 것을 권합니다 — 발열체와 내화재는 소모품이고, 정격 온도를 계속 쓰면 수명이 빠르게 깎입니다.
| Model | SH-CVD-50TH300 | SH-CVD-80TH300 | SH-CVD-100TH300 | SH-CVD-120TH300 |
|---|---|---|---|---|
| 튜브경 | Φ50 | Φ80 | Φ100 | Φ120 |
| 핫존 | 300mm | |||
| 최고온도 | 1500℃ | |||
| 발열체 | SiC | |||
| 칠러 | SH-WB-5CDR(-15) | SH-WB-5CDR(-15) | SH-WB-5CDR(-30) | SH-WB-5CDR(-30) |
| 진공펌프 | — | — | SH-V10 | SH-V10 |
| 오일미스트 트랩 | VOT-1020 | |||
| 판매가 | 11,416,900원 | 13,104,700원 | 16,179,600원 | 19,099,300원 |
구성에 따라 사양·총액이 크게 달라집니다. 질량유량계(MFC)·압력컨트롤러(BPR)·추가 존 제어 등 필요한 것만 골라 넣을 수 있습니다. 실험셋업연구소 매거진 — 구매·국내 A/S는 이머전트(Emergent co). 조건만 남겨주시면 맞는 구성과 견적으로 회신드립니다.
자료 출처 — 삼흥에너지(SH Scientific) 제품 카탈로그
구성CVD 패키지에는 무엇이 들어 있나요?
퍼니스 본체, 가스 유량계, 스테인리스 배관·커넥터, 가스 실링 마스크, 반응관(석영 또는 알루미나), 칠러, 진공펌프, 오일미스트 트랩이 한 벌입니다. 칠러와 진공펌프 모델은 튜브경에 따라 달라집니다.
선택핫존 300mm 와 600mm, 3존은 어떻게 고르나요?
시료가 한두 개면 300mm, 여러 개를 나란히 놓거나 긴 기판이면 600mm 입니다. 전구체 기화부와 반응부의 온도를 다르게 잡아야 하면 3존입니다.
온도정격 온도로 계속 돌려도 되나요?
권하지 않습니다. 실사용 최대치는 정격보다 200℃ 낮게 잡는 것을 권합니다. 목표 온도에는 도달하지만 발열체와 내화재가 빠르게 소모됩니다 — 둘 다 소모품입니다.
튜브튜브경은 어떻게 정하나요?
시료 크기와 보트·캐리어 폭으로 정합니다. 튜브가 굵을수록 히터 용량과 가격이 올라가고 승온·냉각이 느려집니다. 시료 치수를 알려주시면 맞는 관경을 골라 드립니다.
A/S설치와 A/S는 어디서 하나요?
삼흥에너지는 국내 제조사입니다. 부품 수급과 수리가 빠르고, 구매·설치·국내 A/S는 이머전트(Emergent co)가 맡습니다.
제어가스 유량과 온도를 하나로 제어할 수 있나요?
가능합니다. 질량유량계(MFC)·압력컨트롤러(BPR)를 붙여 온도·유량·압력을 한 화면에서 잡는 통합 제어까지 셋업해 드립니다. 필요한 조건을 알려주십시오.