삼흥에너지 1200℃ CVD 튜브로 600mm 핫존 판입니다. 균일 구간이 길어 시료를 여러 개 나란히 놓거나 긴 기판을 처리할 때 씁니다. 튜브경 Φ50~250.
핫존이 300mm 에서 600mm 로 길어지면 균일 온도 구간이 두 배가 됩니다. 한 번에 올리는 시료 수를 늘리거나, 긴 기판·튜브 형상을 통째로 넣을 때 이 판을 씁니다. 나머지 구성(유량계·배관·실링마스크·석영관·칠러·진공펌프·오일미스트 트랩)은 300mm 판과 같습니다.
| Model | SH-CVD-50TG600 | SH-CVD-80TG600 | SH-CVD-100TG600 | SH-CVD-120TG600 | SH-CVD-200TG600 | SH-CVD-250TG600 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 튜브경 | Φ50 | Φ80 | Φ100 | Φ120 | Φ200 | Φ250 |
| 핫존 | 600mm | |||||
| 최고온도 | 1200℃ | |||||
| 발열체 | Kanthal A-1 | |||||
| 칠러 | SH-WB-5CDR(-15) | SH-WB-5CDR(-15) | SH-WB-5CDR(-15) | SH-WB-5CDR(-15) | SH-WB-12CDR(-25) | SH-WB-12CDR(-25) |
| 진공펌프 | — | — | — | SH-V10 | SH-V20 | SH-V20 |
| 오일미스트 트랩 | VOT-1020 | |||||
| 판매가 | 7,095,550원 | 8,759,100원 | 10,524,500원 | 12,105,600원 | 24,153,000원 | 30,574,400원 |
구성에 따라 사양·총액이 크게 달라집니다. 질량유량계(MFC)·압력컨트롤러(BPR)·추가 존 제어 등 필요한 것만 골라 넣을 수 있습니다. 실험셋업연구소 매거진 — 구매·국내 A/S는 이머전트(Emergent co). 조건만 남겨주시면 맞는 구성과 견적으로 회신드립니다.
자료 출처 — 삼흥에너지(SH Scientific) 제품 카탈로그
구성CVD 패키지에는 무엇이 들어 있나요?
퍼니스 본체, 가스 유량계, 스테인리스 배관·커넥터, 가스 실링 마스크, 반응관(석영 또는 알루미나), 칠러, 진공펌프, 오일미스트 트랩이 한 벌입니다. 칠러와 진공펌프 모델은 튜브경에 따라 달라집니다.
선택핫존 300mm 와 600mm, 3존은 어떻게 고르나요?
시료가 한두 개면 300mm, 여러 개를 나란히 놓거나 긴 기판이면 600mm 입니다. 전구체 기화부와 반응부의 온도를 다르게 잡아야 하면 3존입니다.
온도정격 온도로 계속 돌려도 되나요?
권하지 않습니다. 실사용 최대치는 정격보다 200℃ 낮게 잡는 것을 권합니다. 목표 온도에는 도달하지만 발열체와 내화재가 빠르게 소모됩니다 — 둘 다 소모품입니다.
튜브튜브경은 어떻게 정하나요?
시료 크기와 보트·캐리어 폭으로 정합니다. 튜브가 굵을수록 히터 용량과 가격이 올라가고 승온·냉각이 느려집니다. 시료 치수를 알려주시면 맞는 관경을 골라 드립니다.
A/S설치와 A/S는 어디서 하나요?
삼흥에너지는 국내 제조사입니다. 부품 수급과 수리가 빠르고, 구매·설치·국내 A/S는 이머전트(Emergent co)가 맡습니다.
제어가스 유량과 온도를 하나로 제어할 수 있나요?
가능합니다. 질량유량계(MFC)·압력컨트롤러(BPR)를 붙여 온도·유량·압력을 한 화면에서 잡는 통합 제어까지 셋업해 드립니다. 필요한 조건을 알려주십시오.