삼흥에너지 1200℃ 3존 CVD 튜브로는 200mm 발열 구간 세 개를 따로 제어합니다. 전구체 기화부와 반응부의 온도를 다르게 잡아야 하는 공정에 씁니다.
존이 하나면 튜브 전체가 같은 온도입니다. 3존은 앞·가운데·뒤를 각각 다른 온도로 잡을 수 있어, 전구체를 앞쪽에서 기화시키고 가운데에서 반응시키는 식의 공정이 됩니다. 온도 구배를 의도적으로 만들어야 하는 CVD·기상수송 성장에 맞습니다. 컨트롤러도 존 수만큼 들어갑니다.
| Model | SH-CVD-50TG200-3 | SH-CVD-80TG200-3 | SH-CVD-100TG200-3 | SH-CVD-120TG200-3 | SH-CVD-200TG200-3 | SH-CVD-250TG200-3 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 튜브경 | Φ50 | Φ80 | Φ100 | Φ120 | Φ200 | Φ250 |
| 핫존 | 200mm | |||||
| 최고온도 | 1200℃ | |||||
| 발열체 | Kanthal A-1 | |||||
| 칠러 | SH-WB-5CDR(-15) | SH-WB-5CDR(-15) | SH-WB-5CDR(-15) | SH-WB-5CDR(-15) | SH-WB-12CDR(-25) | SH-WB-12CDR(-25) |
| 진공펌프 | SH-V10 | SH-V10 | SH-V10 | SH-V10 | SH-V20 | SH-V20 |
| 오일미스트 트랩 | VOT-1020 | VOT-1020 | VOT-1020 | VOT-1020 | — | — |
| 판매가 | 9,336,250원 | 10,961,000원 | 12,745,800원 | 14,423,900원 | 26,384,000원 | 33,484,400원 |
구성에 따라 사양·총액이 크게 달라집니다. 질량유량계(MFC)·압력컨트롤러(BPR)·추가 존 제어 등 필요한 것만 골라 넣을 수 있습니다. 실험셋업연구소 매거진 — 구매·국내 A/S는 이머전트(Emergent co). 조건만 남겨주시면 맞는 구성과 견적으로 회신드립니다.
자료 출처 — 삼흥에너지(SH Scientific) 제품 카탈로그
구성CVD 패키지에는 무엇이 들어 있나요?
퍼니스 본체, 가스 유량계, 스테인리스 배관·커넥터, 가스 실링 마스크, 반응관(석영 또는 알루미나), 칠러, 진공펌프, 오일미스트 트랩이 한 벌입니다. 칠러와 진공펌프 모델은 튜브경에 따라 달라집니다.
선택핫존 300mm 와 600mm, 3존은 어떻게 고르나요?
시료가 한두 개면 300mm, 여러 개를 나란히 놓거나 긴 기판이면 600mm 입니다. 전구체 기화부와 반응부의 온도를 다르게 잡아야 하면 3존입니다.
온도정격 온도로 계속 돌려도 되나요?
권하지 않습니다. 실사용 최대치는 정격보다 200℃ 낮게 잡는 것을 권합니다. 목표 온도에는 도달하지만 발열체와 내화재가 빠르게 소모됩니다 — 둘 다 소모품입니다.
튜브튜브경은 어떻게 정하나요?
시료 크기와 보트·캐리어 폭으로 정합니다. 튜브가 굵을수록 히터 용량과 가격이 올라가고 승온·냉각이 느려집니다. 시료 치수를 알려주시면 맞는 관경을 골라 드립니다.
A/S설치와 A/S는 어디서 하나요?
삼흥에너지는 국내 제조사입니다. 부품 수급과 수리가 빠르고, 구매·설치·국내 A/S는 이머전트(Emergent co)가 맡습니다.
제어가스 유량과 온도를 하나로 제어할 수 있나요?
가능합니다. 질량유량계(MFC)·압력컨트롤러(BPR)를 붙여 온도·유량·압력을 한 화면에서 잡는 통합 제어까지 셋업해 드립니다. 필요한 조건을 알려주십시오.