삼흥에너지 3존 튜브로 가스플로 패키지는 200mm Hot Zone 3개를 각각 별도 컨트롤러로 제어합니다. 구간별로 다른 온도를 걸 수 있어 온도 구배(gradient)가 필요한 공정이나, 3구간을 같은 온도로 맞춰 600mm 균일 항온대로 쓰는 두 가지 방식이 모두 가능합니다. 튜브직경은 50~500mm까지 제작 가능하고, 45 Step 온도 프로그램 제어를 지원합니다.
기본 구성 (Standard)
3존 튜브 전기로 본체 — 1200℃ · Hot Zone 200mm × 3 (총 600mm)
존별 독립 프로그램 컨트롤러 3개 (FC-1000) · K type 센서
Gas Flowmeter 1EA · 석영튜브 1200mm · Gas Sealing Mask
Seamless SUS 316 배관 & 밸브 · Connector · 압력게이지
이중 케이스 구조 — 외부 케이스 표면온도가 낮음
옵션 (Option)
MFC (Mass Flow Controller) — 가스 종류별 질량 기준 정밀 유량 투입
BPR (Back Pressure Regulator) — 튜브 내부 양압 유지(무산소 분위기)·튜브 파손 방지
Safety Cover — 반응가스 응축·화상·튜브 파손 방지
가스 수분제거 Column — 투입 가스의 수분 제거
디지털 진공메타 · 추가 가스 모듈(1pc)
별도 구성 (패키지 미포함)
실링마스크 냉각용 칠러 — 장시간 고온 운전 시 실링부 냉각
진공펌프 — 감압·퍼지 운전이 필요할 때
Moving Frame — 노체 이동 구조물
위 항목은 패키지에 포함되지 않습니다. 필요한 구성을 알려주시면 퍼니스와 함께 셋업해 공급합니다 — 온도·가스 유량·진공을 하나로 묶는 통합 제어까지 지원합니다.
존별 독립 컨트롤러 3개 · 석영튜브 · 가스라인 구성
모델별 사양
Model
SH-FU-50LTG-3-WG
SH-FU-80LTG-3-WG
SH-FU-100LTG-3-WG
SH-FU-120LTG-3-WG
Furnace
SH-FU-50LTG-3
SH-FU-80LTG-3
SH-FU-100LTG-3
SH-FU-120LTG-3
Max Temp
1200℃ (2192℉)
Temp Controller
Programmable Controller (FC-1000) × 3
Sensor
K type
적용 튜브경
50 Φ
80 Φ
100 Φ
120 Φ
Heater
1.15kW × 3zone = 3.45kW
1.8kW × 3zone = 5.4kW
2.0kW × 3zone = 6.0kW
2.3kW × 3zone = 6.9kW
Hot Zone
200mm × 3 Zone (Length 600mm)
External Dim. (W×D×H)
850×370×540mm
850×400×570mm
850×430×600mm
850×460×660mm
Weight
52 Kg
56 Kg
68 Kg
105 Kg
Heater Element
Kanthal A-1
전원 (220V, 50/60Hz, 1Φ)
15 A
23.5 A
26 A
30 A
Components
Gas Flowmeter 1EA · Stainless Steel Pipe & Connector · Gas Sealing Mask · Quartz Tube (Length 1200 mm)
⚠ 실사용 온도는 스펙 최고온도보다 150℃ 낮게 잡으세요 (중요)
퍼니스는 스펙상 최고온도를 상시 사용 온도로 잡지 마세요. 실사용 최대치는 정격 최고온도보다 150℃ 낮게 설정하는 것을 권장합니다. 스펙 온도를 그대로 상시 사용하면 목표 온도에는 도달하더라도 열선(발열체)과 내화재(단열재)가 빠르게 소모·손상됩니다 — 열선·내화재는 소모품입니다. 예: 1200℃ 스펙 → 상시 사용은 1050℃ 이하 권장.
구성에 따라 사양·총액이 크게 달라집니다. 옵션과 별도 구성 항목은 필요한 것만 골라 넣을 수 있어, 같은 모델이라도 최종 사양이 달라집니다. 삼흥에너지 공식 대리점 실험셋업연구소 — 정품·국내 A/S. 조건만 남겨주시면 맞는 구성과 견적으로 회신드립니다.
이 제품 FAQ
3존이면 구간마다 다른 온도를 걸 수 있나요?
네. Hot Zone 3개에 컨트롤러가 각각 붙어 있어 존별로 다른 목표 온도를 설정할 수 있습니다. 온도 구배가 필요한 CVD·기상수송 공정에 씁니다. 반대로 3존을 같은 온도로 맞추면 600mm 균일 항온대가 됩니다.
단일존 600mm 모델과 무엇을 기준으로 고르나요?
구간별 온도를 다르게 걸어야 하면 3존, 넓은 구간을 하나의 온도로 균일하게 유지하면 되면 단일존 600mm가 단순하고 경제적입니다. 판단이 어려우면 시료·공정 조건을 남겨주시면 맞는 쪽으로 회신드립니다.
